[發明專利]人工晶體生長用導流筒升降機構有效
| 申請號： | 200710021527.2 | 申請日： | 2007-04-28 |
| 公開（公告）號： | CN101294306A | 公開（公告）日： | 2008-10-29 |
| 發明（設計）人： | 李留臣;馮? | 申請（專利權）人： | 馮金生 |
| 主分類號： | C30B35/00 | 分類號： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 213200江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 人工 晶體生長 導流 升降 機構 | ||
【權利要求書】：
1、一種人工晶體生長用導流筒升降機構，包括爐筒和爐底組成的真空工作室，其特征在于真空工作室安裝在基座上，三個或者兩個直線運動組件均布安裝在爐底上，通過電動機帶動滑塊和導桿作上下移動，導流筒安裝在托板上，托板與導桿連接，導桿通過密封組件實現與真空工作室之間的密封。
2、根據權利要求1所述的人工晶體生長用導流筒升降機構，其特征在于三個或者兩個直線運動組件均布安裝在爐底上。
3、根據權利要求1或2所述的人工晶體生長用導流筒升降機構，其特征在于導桿通過密封組件實現與真空工作室之間的密封。
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