[發(fā)明專利]微電子機械正交雙通道微波相位在線檢測器及其制備方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200710021136.0 | 申請日： | 2007-03-30 |
| 公開（公告）號： | CN101034122A | 公開（公告）日： | 2007-09-12 |
| 發(fā)明（設計）人： | 廖小平;焦永昌 | 申請（專利權）人： | 東南大學 |
| 主分類號： | G01R29/08 | 分類號： | G01R29/08 |
| 代理公司： | 南京經緯專利商標代理有限公司 | 代理人： | 葉連生 |
| 地址： | 21009*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微電子 機械 正交 雙通道 微波 相位 在線 檢測器 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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