[發明專利]基于雙層納米硅結構的非揮發性浮柵存儲器及制備方法無效
| 申請號： | 200710021060.1 | 申請日： | 2007-03-23 |
| 公開（公告）號： | CN101026194A | 公開（公告）日： | 2007-08-29 |
| 發明（設計）人： | 陳坤基;吳良才;王久敏;余林蔚;李偉;徐駿;丁宏林;張賢高;劉奎;王祥;徐嶺;黃信凡 | 申請（專利權）人： | 南京大學 |
| 主分類號： | H01L29/788 | 分類號： | H01L29/788;H01L29/423;H01L29/49;H01L27/115;H01L21/336;H01L21/28;H01L21/8247 |
| 代理公司： | 南京天翼專利代理有限責任公司 | 代理人： | 湯志武;王鵬翔 |
| 地址： | 210093*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 雙層 納米 結構 揮發性 存儲器 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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