[發明專利]有序孔陣列透射式波長計及其測量方法

無效

• 申請號: 200710019651.5
• 申請日: 2007-01-25
• 公開（公告）號: CN101231194A
• 公開（公告）日: 2008-07-30
• 發明（設計）人: 段國韜;蔡偉平;李越;羅媛媛
• 申請（專利權）人: 中國科學院合肥物質科學研究院
• 主分類號: G01J9/02
• 分類號: G01J9/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種有序孔陣列透射式波長計，包括平行光源(1)和其光路上的半透鏡和平面鏡，以及移動臺，其特征在于：

(a)所說平行光源(1)的入射角與所說半透鏡相垂直；

(b)所說半透鏡或平面鏡位于移動臺上；

(c)所說半透鏡由透明襯底(2)和有序孔陣列(3)構成，所說有序孔陣列(3)的孔陣列周期為200nm～20μm；

(d)所說平面鏡為顯示屏(5)，所說顯示屏(5)位于所說透明襯底(2)的附有有序孔陣列(3)的一側，且與所說有序孔陣列(3)間的距離為20cm～1m。

2.根據權利要求1所述的有序孔陣列透射式波長計，其特征是有序孔陣列(3)為二維多疇有序孔陣列，其層數為一層，孔形為圓孔、且呈六方排列。

3.根據權利要求1所述的有序孔陣列透射式波長計，其特征是顯示屏(5)為漫反射屏幕或光敏傳感器，所說漫反射屏幕或光敏傳感器位于移動臺上，且與有序孔陣列(3)平行設置。

4.根據權利要求3所述的有序孔陣列透射式波長計，其特征是光敏傳感器的輸出端與控制器(11)的輸入端電連接。

5.根據權利要求1或4所述的有序孔陣列透射式波長計，其特征是移動臺包含工作平臺(6)和與其動配合連接的導軌(7)，以及連接工作平臺(6)與導軌(7)的絲杠螺母付，所說絲杠螺母付中的螺母(12)與工作平臺(6)固定連接，絲杠(8)與導軌(7)動配合連接。

6.根據權利要求5所述的有序孔陣列透射式波長計，其特征是移動臺的絲杠(8)軸與步進電機(9)的轉動軸連接。

7.根據權利要求6所述的有序孔陣列透射式波長計，其特征是步進電機(9)的輸入端與步進電機電源(10)的輸出端電連接。

8.根據權利要求7所述的有序孔陣列透射式波長計，其特征是步進電機電源(10)的輸入端與控制器(11)的輸出端電連接。

9.根據權利要求1所述的有序孔陣列透射式波長計的測量方法，包括接收平行光和輸出干涉光，其特征在于所說方法包含以下步驟：

(a)設定測量的精度，即選擇有序孔陣列與顯示屏間的距離；

(b)根據顯示屏上有無衍射斑點或衍射環，確定有序孔陣列的孔陣列周期幅度的增減，即對于顯示屏上無衍射斑點或衍射環時，選擇更大周期的有序孔陣列，對于顯示屏上衍射斑點或衍射環太小，無法測量時，選擇更小周期的有序孔陣列；

(c)測量顯示屏上的衍射斑點或衍射環的半徑；

(d)通過公式λ=2amm2+l2]]>確定波長，式中，λ為入射光波長、2a為有序孔陣列中相鄰兩孔的間距、m為衍射斑點或衍射環的半徑、1為有序孔陣列與顯示屏間的距離。

10.根據權利要求9所述的有序孔陣列透射式波長計的測量方法，其特征是根據公式δm＝Kδλ和K=l2a[1-(λ2a)2]3/2,]]>得出測量誤差，變更測量的精度，則重新設定測量的精度。