[發(fā)明專利]鋁碳化硅集成電路管殼的凝膠注模材料組合物及制備產(chǎn)品的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710018294.0
• 申請日: 2007-07-19
• 公開（公告）號: CN101117558A
• 公開（公告）日: 2008-02-06
• 發(fā)明（設計）人: 李宏杰;于家康;馬俊立
• 申請（專利權）人: 西安明科微電子材料有限公司
• 主分類號: C09K3/00
• 分類號: C09K3/00;C04B26/00;C04B14/36;C04B22/14;C04B24/12;H01L23/06
• 代理公司: 西安西達專利代理有限責任公司
• 代理人: 劉華

1.一種鋁碳化硅集成電路管殼的凝膠注模材料組合物制備產(chǎn)品的方法，其特征在于：該凝膠注模材料組合物包括重量份數(shù)的50份～60份碳化硅微粉，28份～35份去離子水，3.5份～4.5份丙烯酰胺，0.3份～0.4份亞甲基雙丙烯酰胺，0.03份～0.04份過硫酸銨，0.06份～0.070份四甲基乙二胺，2份～2.5份分散劑，

按下述步驟進行：

a、將碳化硅凝膠注模漿料配方中碳化硅微粉、丙烯酰胺、亞甲基雙丙烯酰胺及分散劑各物質(zhì)按比例稱量，倒入球磨機中，球磨10～20小時后，停機，過濾，用干燥壓縮空氣壓到調(diào)節(jié)罐里，在調(diào)節(jié)罐里攪拌2小時，用氨水將漿料的pH值調(diào)到10，在-700mmHg柱以上的真空度下抽真空2小時；

b、根據(jù)模具尺寸的大小，稱取漿料，放在不銹鋼杯里，在攪拌狀態(tài)下，逐滴加入過硫酸銨、四甲基乙二胺溶液，加完后，接著攪拌1分鐘，關掉攪拌機；

c、將調(diào)節(jié)好的漿料緩緩注入模具里，使氣泡逐步排出，加壓，注漿結束后，對模具振動2到3下，使?jié){料充分填充；

d、其脫模工藝：注模15分鐘后，開模，小心謹慎，用小鏟刀輔助脫模，邊鏟邊揭，保證生坯完整脫出；

e、其生坯干燥工藝：將脫模完好的生坯輕輕放在托架上，擺滿后，放入恒溫恒濕烘箱里，烘箱設定溫度80℃，濕度RH≥80％，烘上10～20小時，取出，用800目砂紙輕輕拋光工件的表面，即得到形狀完整的管殼預制件。