[發明專利]單晶硅拉制爐用炭/炭保溫罩的制備方法有效
| 申請號： | 200710017915.3 | 申請日： | 2007-05-23 |
| 公開（公告）號： | CN101063223A | 公開（公告）日： | 2007-10-31 |
| 發明（設計）人： | 肖志超;蘇君明;李永軍;彭志剛;鄧紅兵;孟凡才;邵海成;李睿 | 申請（專利權）人： | 西安超碼科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/20 | 分類號： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安創知專利事務所 | 代理人： | 譚文琰 |
| 地址： | 71002*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 單晶硅 拉制 爐用炭 保溫 制備 方法 | ||
1、一種單晶硅拉制爐用炭/炭保溫罩的制備方法，其特征在于該方法包括以下步驟：
(1)采用炭纖維無緯布與薄炭纖維網胎交替環向纏繞徑向針刺全炭纖維準三向結構預制體；
(2)采用糠酮樹脂浸漬炭化致密預制體，在抽真空條件下在浸漬罐中浸漬3小時后出罐，再轉入炭化爐進行炭化處理，反復致密2-4次；
(3)保溫罩預制體制品密度≥1.20g/cm3時致密工藝結束，在通入氯氣和氟利昂的條件下對保溫罩預制體制品進行高溫純化處理，所述高溫純化處理溫度為2000～2500℃；
(4)機械加工后即制得單晶硅拉制爐用炭/炭保溫罩。
2、根據權利要求1所述的單晶硅拉制爐用炭/炭保溫罩的制備方法，其特征在于所述步驟(1)中采用12K炭纖維無緯布環向纏繞徑向針刺結構預制體，采用徑向針刺，防止制造過程中的分層和開裂，預制體體積密度在0.25～0.35g/cm3，K代表絲束千根數。
3、根據權利要求1所述的單晶硅拉制爐用炭/炭保溫罩的制備方法，其特征在于所述步驟(2)中的炭化溫度為800-1100℃。
4、根據權利要求1所述的單晶硅拉制爐用炭/炭保溫罩的制備方法，其特征在于所述步驟(4)中機械加工后即制得單晶硅拉制爐用炭/炭保溫罩的直徑為500～1100mm，高度為200～1500mm，厚度為20～100mm。
5、根據權利要求1所述的單晶硅拉制爐用炭/炭保溫罩的制備方法，其特征在于所述步驟(2)中的真空壓力為-0.094～-0.098Mpa。
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