[發明專利]空間連續變形MEMS的可重用參數化組件建模方法無效
| 申請號： | 200710017305.3 | 申請日： | 2007-01-26 |
| 公開（公告）號： | CN101051328A | 公開（公告）日： | 2007-10-10 |
| 發明（設計）人： | 馬炳和;張承亮;呂湘連;苑偉政 | 申請（專利權）人： | 西北工業大學 |
| 主分類號： | G06F17/50 | 分類號： | G06F17/50;B81C5/00 |
| 代理公司： | 西北工業大學專利中心 | 代理人： | 顧潮琪 |
| 地址： | 710072陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 空間 連續 變形 mems 重用 參數 組件 建模 方法 | ||
【權利要求書】：
1、一種空間連續變形MEMS的可重用參數化組件建模方法，其特征在于包括下述步驟：
步驟1：根據MEMS器件所涉及的能量域及其耦合方式確定描述各個能量域及其耦合狀態的動態控制方程、邊界條件方程；
步驟2：結合邊界條件，對步驟1確定的描述各能量域的動態控制方程進行空間離散化，在各空間維度上對MEMS器件進行均勻網格劃分，然后用差分式代替偏微分，從而把動態控制方程由偏微分方程形式轉換為常微分方程組形式；
步驟3：根據步驟2所確定的常微分方程組，以MEMS器件的尺寸參數和工藝參數為輸入變量，采用模擬與混合信號硬件描述語言MAST或VHDL-AMS進行編碼，實現器件的功能描述；
步驟4：繪制MEMS組件示意圖，與編碼進行連接，形成供系統級建模和仿真分析時調用的MEMS組件。
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