[發(fā)明專利]集成式可編程晶體生長控制系統(tǒng)無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200710017150.3 | 申請日： | 2007-09-18 |
| 公開（公告）號： | CN101220503A | 公開（公告）日： | 2008-07-16 |
| 發(fā)明（設計）人： | 張曉陽;黃柏標;秦曉燕;段愛東 | 申請（專利權(quán)）人： | 山東大學 |
| 主分類號： | C30B15/20 | 分類號： | C30B15/20;C30B15/30 |
| 代理公司： | 濟南圣達專利商標事務所 | 代理人： | 王書剛 |
| 地址： | 250100山東*** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 集成 可編程 晶體生長 控制系統(tǒng) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種集成式可編程晶體生長控制系統(tǒng)，其特征在于：包括溫度傳感器、雙路信號切換開關(guān)、A/D轉(zhuǎn)換器、微處理器、加熱器、籽晶桿轉(zhuǎn)動步進電機驅(qū)動器、晶體提拉步進電機驅(qū)動器、稱重傳感器和稱重傳感器放大電路；溫度傳感器通過前置放大器和雙路信號切換開關(guān)與A/D轉(zhuǎn)換器連接；稱重傳感器通過稱重傳感器放大電路和雙路信號切換開關(guān)也與A/D轉(zhuǎn)換器連接；A/D轉(zhuǎn)換器與微處理器連接；至少有兩路加熱器，每路都是通過晶閘管開關(guān)和晶閘管觸發(fā)驅(qū)動器與微處理器連接；籽晶桿轉(zhuǎn)動步進電機通過斬波恒流步進電機細分驅(qū)動器與微處理器連接，晶體提拉步進電機的驅(qū)動器直接與微處理器連接。
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