[發明專利]橫流CO2激光器實用三折光腔裝置

無效

• 申請號: 200710012487.5
• 申請日: 2007-08-17
• 公開（公告）號: CN101369711A
• 公開（公告）日: 2009-02-18
• 發明（設計）人: 陶興啟;李雨
• 申請（專利權）人: 沈陽大陸激光成套設備有限公司
• 主分類號: H01S3/08
• 分類號: H01S3/08;H01S3/041
• 代理公司: 沈陽利泰專利商標代理有限公司
• 代理人: 李樞

1.橫流CO₂激光器實用三折光腔裝置，由前光腔體(2)和后光腔體(1)組成，前光腔體(2)包括折轉鏡與一體化調整機構、非同軸雙波紋管機構、窗口鏡座、光腔機械定位和腔鏡調整機構、光腔外部冷水循環機構、后光腔體(1)包括折轉鏡與一體化調整機構、非同軸雙波紋管機構、后反鏡座調整機構、光腔機械定位和腔鏡調整機構、光腔外部冷水循環機構，其中，前光腔體(2)中的折轉鏡與一體化調整機構、非同軸雙波紋管機構、光腔機械定位和腔鏡調整機構、光腔外部冷水循環機構與后光腔體(1)中的折轉鏡與一體化調整機構、非同軸雙波紋管機構、光腔機械定位和腔鏡調整機構、光腔外部冷水循環機構結構相同其特征在于：

所述的折轉鏡與一體化調整機構，包括直冷式銅折轉鏡(13)、吸收冷光闌(3)、中間一體法蘭(12)；直冷式銅折轉鏡(13)位于中間一體法蘭(12)的折轉鏡安裝孔座(29)內，直冷式銅折轉鏡(13)的中部設置有環形冷水槽(18)，環形冷水槽(18)與折轉鏡安裝孔座(29)的內冷水環形槽(55)相連通，直冷式銅折轉鏡(13)的前端環形口(52)與折轉鏡安裝孔座(29)的外冷水環形槽(54)相連通；吸收冷光闌(3)圓心的兩側設有兩個通光孔(21)，一個通光孔(21)套設在直冷式銅折轉鏡(13)的外側，另一個通光孔(21)與中間一體法蘭(12)的透光孔(36)相重合，通過螺絲將吸收冷光闌(3)固定在中間一體法蘭(12)上；

所述的非同軸雙波紋管機構，包括第一波紋管(11)和第二波紋管(14)、兩片固定法蘭(5)、兩片密封付法蘭(6)；第一波紋管(11)和第二波紋管(14)的一端分別與兩片固定法蘭(5)焊接，另一端分別預先套進一可調法蘭(25)后再在端口焊接一密封付法蘭(6)；在第一波紋管(11)和第二波紋管(14)焊接固定法蘭(5)的一端分別密封裝設在中間一體法蘭(12)的兩面，第一波紋管(11)的焊接密封付法蘭(6)的端部與端部密封法蘭(7)用螺絲連接，第二波紋管(14)的焊接密封付法蘭(6)的端部與激光器真空箱體(15)上的調整方法蘭用螺絲密封連接，第一波紋管(11)和第二波紋管(14)的軸線互有間距；

所述光腔機械定位和腔鏡調整機構，包括光橋固定框座(4)；前光腔體(2)和后光腔體(1)分別固定裝設在激光器光橋前后端部的光橋固定框座(4)上，通過固定在光橋固定框座(4)上的三個120°均勻設置的不銹鋼調整螺桿(10)?定位連接，調整螺桿(10)兩端分別穿過中間一體法蘭(12)和端部密封法蘭（7），通過中間一體法蘭(12)和端部密封法蘭(7)兩面的球面螺母和平面螺母調整鎖定；

所述的光腔外部冷水循環機構，包括窗口鏡冷水循環部分、前折轉鏡冷水循環部分、后反鏡冷水循環部分、后折轉鏡冷水循環部分；窗口鏡座冷水循環部分的冷水循環管路與窗口鏡座定位付法蘭(8)的窗口鏡座進水口(42)連通，窗口鏡座定位付法蘭(8)的窗口鏡座環形槽(43)與吸收光闌(45)的環形冷水槽(46)相密封連接，窗口鏡座定位付法蘭(8)的窗口鏡座出水口(44)通過冷水循環管路返回冷水循環槽(53)；

前折轉鏡冷水循環部分的冷水循環管路分設兩路，其中一路是冷水循環槽(53)通過冷水循環管路與中間一體法蘭(12)的雙水道中的吸收冷光闌冷卻水道(50)的吸收冷光闌冷卻水道進水口(33)相連接，吸收冷光闌冷卻水道出水口(35)與吸收冷光闌(3)冷卻座(23)的冷光闌進水口(19)相連通，冷卻座(23)的冷光闌出水口(22)與中間一體法蘭(12)的吸收冷光闌冷卻水道(38)的吸收冷光闌冷卻水道進水口(37)相連通，吸收冷光闌冷卻水道(38)的吸收冷光闌冷卻水道出水口(39)通過冷水循環管路連接到冷水循環槽(53)；另一冷水循環管路是冷水循環槽(53)通過冷水循環管路與中間一體法蘭(12)的雙水道中的折轉鏡冷卻水道(31)的折轉鏡冷卻水道進口(32)連接，折轉鏡冷卻水道出口(30)與折轉鏡安裝孔座內冷水環形槽(55)連通，折轉鏡安裝孔座內冷水環形槽(55)與直冷式銅折轉鏡(13)的環形冷水槽(18)相連通，折轉鏡安裝孔座外冷水環形槽(54)與直冷式銅折轉鏡(13)的前端環形口(52)相連通，折轉鏡安裝孔座外冷水環形槽(54)與折轉鏡冷卻水道(51)的折轉鏡冷卻水道進口(28)相連通，折轉鏡冷卻水道出口(26)通過冷水循環管路與冷水循環槽(53)相連接；

后反鏡座冷水循環部分的冷水循環管路與后反鏡座定位付法蘭(16)的后反鏡座進水孔(47)連通，后反鏡座定位付法蘭(16)的后反鏡座環形槽(48)與吸收光闌(45)的環形冷水槽(46)相密封連接，后反鏡座定位付法蘭(16)的后反鏡座出水孔(49)通過冷水循環管路與冷水循環槽(53)相連通；

后折轉鏡冷水循環部分的冷水循環管路分設兩路，其中一路是冷水循環槽(53)通過冷水循環管路與中間一體法蘭(12)的雙水道中的吸收冷光闌冷卻水道(50)的吸收冷光闌冷卻水道進水口(33)相連接，吸收冷光闌冷卻水道出水口(35)與吸收冷光闌(3)的冷卻座(23)的冷光闌進水口(19)相連通，?冷卻座(23)的冷光闌出水口(22)與中間一體法蘭(12)的吸收冷光闌冷卻水道(38)的吸收冷光闌冷卻水道進水口(37)相連通，吸收冷光闌冷卻水道(38)的吸收冷光闌冷卻水道出水口(39)通過冷水循環管路連接到冷水循環槽(53)；另一冷水循環管路是冷水循環槽(53)通過冷水循環管路與中間一體法蘭(12)的雙水道中的折轉鏡冷卻水道(31)的折轉鏡冷卻水道進口(32)連接，折轉鏡冷卻水道出口(30)與折轉鏡安裝孔座內冷水環形槽(55)連通，折轉鏡安裝孔座內冷水環形槽(55)與直冷式銅折轉鏡(13)的環形冷水槽(18)相連通，折轉鏡安裝孔座外冷水環形槽(54)與直冷式銅折轉鏡(13)的前端環形口(52)相連通，折轉鏡安裝孔座外冷水環形槽(54)與折轉鏡冷卻水道(51)的折轉鏡冷卻水道進口(28)相連通，折轉鏡冷卻水道出口(26)通過冷水循環管路與冷水循環槽(53)相連接；

所述的窗口鏡座與后反鏡座調整機構，包括通用系列的窗口鏡座(9)和后反鏡座(17)、窗口鏡座定位付法蘭(8)和后反鏡座定位付法蘭(16)；在窗口鏡座定位付法蘭(8)和后反鏡座定位付法蘭(16)上分別裝設有吸收光闌(45)，窗口鏡座(9)和后反鏡座(17)分別偏心固定連接在窗口鏡座定位付法蘭(8)和后反鏡座定位付法蘭(16)上，窗口鏡座定位付法蘭(8)和后反鏡座定位付法蘭(16)分別與端部密封法蘭(7)相連接。