[發明專利]離子注入裝置有效
| 申請號： | 200710005825.2 | 申請日： | 2007-02-25 |
| 公開（公告）號： | CN101026078A | 公開（公告）日： | 2007-08-29 |
| 發明（設計）人： | 高田實男;池田稔;松舟聰 | 申請（專利權）人： | 恩益禧電子股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/317 | 分類號： | H01J37/317;H01L21/265;C30B31/22 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 孫志湧;陸錦華 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 離子 注入 裝置 | ||
【權利要求書】：
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