[發(fā)明專(zhuān)利]半導(dǎo)體制造工藝尾氣處理設(shè)備的廢水回收系統(tǒng)和方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710005518.4
• 申請(qǐng)日: 2007-02-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101239759A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 盧宗隆;商能洲;張朝謙
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 鋒霈企業(yè)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C02F9/04
• 分類(lèi)號(hào): C02F9/04;C02F1/72;C02F1/42;C02F1/78
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 黃健

1.?一種半導(dǎo)體制造工藝尾氣處理設(shè)備的廢水回收系統(tǒng)，其特征在于包括：

第一儲(chǔ)桶，連接所述半導(dǎo)體制造工藝尾氣處理設(shè)備，用以收集經(jīng)過(guò)該半導(dǎo)體制造工藝尾氣處理設(shè)備的廢水；

過(guò)濾裝置，連接所述第一儲(chǔ)桶，用以去除所述廢水中的微粒；

氧化裝置，連接所述過(guò)濾裝置，用以氧化所述廢水中的有機(jī)污染物；

離子交換裝置，連接所述氧化裝置，用以去除所述廢水中的離子；以及

第二儲(chǔ)桶，連接所述離子交換裝置，用以收集所述廢水經(jīng)上述過(guò)濾裝置、氧化裝置及離子交換裝置后產(chǎn)生的回收水，以供所述半導(dǎo)體制造工藝尾氣處理設(shè)備再利用。

2.?如權(quán)利要求1所述的廢水回收系統(tǒng)，其中所述過(guò)濾裝置包括反沖洗式濾網(wǎng)過(guò)濾裝置。

3.?如權(quán)利要求1所述的廢水回收系統(tǒng)，其中所述過(guò)濾裝置包括濾除粒徑大于25微米微粒的裝置。

4.?如權(quán)利要求1所述的廢水回收系統(tǒng)，其中所述氧化裝置包括：

臭氧產(chǎn)生機(jī)，用以產(chǎn)生臭氧；

氧化反應(yīng)槽，連接所述臭氧產(chǎn)生機(jī)和所述過(guò)濾裝置，使有機(jī)污染物與臭氧產(chǎn)生氧化反應(yīng)；

觸媒反應(yīng)槽，連接所述氧化反應(yīng)槽，具有觸媒，用以促進(jìn)臭氧的自由基反應(yīng)以進(jìn)一步氧化有機(jī)污染物；以及

紫外線反應(yīng)單元，連接所述觸媒反應(yīng)槽，用以再次促進(jìn)臭氧的自由基反應(yīng)，使該廢水的總有機(jī)碳小于0.5mg/L。

5.?如權(quán)利要求4所述的廢水回收系統(tǒng)，還包括與所述臭氧產(chǎn)生機(jī)連接的純氧氣產(chǎn)生機(jī)以產(chǎn)生純氧供該臭氧產(chǎn)生機(jī)使用。

6.?如權(quán)利要求4所述的廢水回收系統(tǒng)，還包括與所述氧化反應(yīng)槽連接的臭氧尾氣處理單元，用以分解殘余的臭氧。

7.?如權(quán)利要求4所述的廢水回收系統(tǒng)，還包括介于所述臭氧產(chǎn)生機(jī)和所述氧化反應(yīng)槽之間的臭氧注入單元，用以將臭氧注入所述氧化反應(yīng)槽。

8.?如權(quán)利要求4所述的廢水回收系統(tǒng)，其中所述觸媒包括金屬觸媒。

9.?如權(quán)利要求8所述的廢水回收系統(tǒng)，其中所述金屬觸媒包括氧化鐵觸媒。

10.?如權(quán)利要求1所述的廢水回收系統(tǒng)，還包括與所述第一儲(chǔ)桶連接的靜態(tài)混合單元，以混合過(guò)氧化氫、堿性藥劑和所述廢水。

11.?如權(quán)利要求10所述的廢水回收系統(tǒng)，還包括耦接所述靜態(tài)混合單元的添加單元以添加過(guò)氧化氫和堿性藥劑至所述靜態(tài)混合單元中。

12.?如權(quán)利要求11所述的廢水回收系統(tǒng)，其中所述堿性藥劑包括氫氧化納。

13.?如權(quán)利要求1所述的廢水回收系統(tǒng)，其中所述離子交換裝置用以去除所述廢水中的氟離子。

14.?如權(quán)利要求1所述的廢水回收系統(tǒng)，其中所述回收水的體積大于所述廢水的體積的70％。

15.?如權(quán)利要求1所述的廢水回收系統(tǒng)，其中所述回收水的體積大于所述廢水的體積的90％。

16.?一種利用權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝尾氣處理設(shè)備的廢水回收系統(tǒng)進(jìn)行廢水回收的方法，其包括下列步驟：

進(jìn)行過(guò)濾處理，以去除經(jīng)過(guò)所述半導(dǎo)體制造工藝尾氣處理設(shè)備的廢水中的微粒；

進(jìn)行氧化處理，以氧化所述廢水中的有機(jī)污染物；以及

進(jìn)行離子交換處理，以去除所述廢水中的離子；以及

產(chǎn)生回收水，以供所述半導(dǎo)體制造工藝尾氣處理設(shè)備再利用。

17.?如權(quán)利要求16所述的廢水回收的方法，其中所述的過(guò)濾處理包括將所述廢水加壓通過(guò)反沖洗式濾網(wǎng)過(guò)濾裝置。

18.?如權(quán)利要求16所述的廢水回收的方法，其中所述氧化處理包括下列步驟：

產(chǎn)生臭氧以氧化所述有機(jī)污染物；

提供氧化鐵觸媒來(lái)促進(jìn)所述臭氧的自由基反應(yīng)以進(jìn)一步氧化所述有機(jī)污染物；以及

利用紫外線再次促進(jìn)所述臭氧的自由基反應(yīng)使所述廢水的總有機(jī)碳小于0.5mg/L。

19.?如權(quán)利要求18所述的廢水回收的方法，其中還包括提供純氧以供產(chǎn)生所述臭氧。

20.?如權(quán)利要求18所述的廢水回收的方法，其中還包括分解殘余的臭氧。