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[發明專利]具有薄膜圖案層的基板的制造方法無效

專利信息
申請號: 200710003652.0 申請日: 2007-01-23
公開(公告)號: CN101231361A 公開(公告)日: 2008-07-30
發明(設計)人: 王宇寧;許艷惠;周景瑜 申請(專利權)人: ICF科技有限公司
主分類號: G02B5/23 分類號: G02B5/23;G02F1/1335;B41J3/407;B41M1/26
代理公司: 北京申翔知識產權代理有限公司 代理人: 周春發
地址: 美國加州95054圣*** 國省代碼: 美國;US
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摘要:
搜索關鍵詞: 具有 薄膜 圖案 制造 方法
【說明書】:

【技術領域】

發明涉及一種具有薄膜圖案層的基板的制造方法。

【背景技術】

目前制造薄膜圖案層的方法主要包括:光微影法及噴墨法。

當采用光微影法時,需在一個基板上涂敷一層光阻材料層。根據預計形成的薄膜圖案層,制作多個光罩,在一個基板反復進行涂敷光阻層,采用該光罩對該光阻層進行曝光及顯影,一直到圖案層完成。但是,該光微影法需要使用大型設備,其制造成本相應增加。

參照圖7,噴墨法通常包括如下步驟:將適量的墨水填充在由基板300上的多個擋墻304圍成的多個收容空間中;固化墨水而形成薄膜圖案層314。

但是,如圖7所示,由于墨水與擋墻304的接觸角較小,故會產生與擋墻接觸處墨水面較高。待墨水干燥后,產生薄膜圖案層314厚度不均勻的狀況,而需進一步處理以使得表面平坦。其制造時間相應增加。

【發明內容】

有鑒于此,有必要提供一種具有薄膜圖案層的基板的制造方法,該薄膜圖案層具有較高的表面平坦度。

一種具有薄膜圖案層的基板的制造方法,其步驟如下:

提供一預成型的基板,其具有多個具有排斥墨水性能的擋墻,該多個擋墻間形成多個收容空間;將含有可固化成分的墨水分別填充在該多個收容空間中,其中收容于各收容空間的墨水體積大于其所對應的收容空間的容積;固化墨水而使該墨水中的可固化成分在該收容空間中形成薄膜圖案層。

一種具有薄膜圖案層的基板的制造方法,其步驟如下:

提供一預成型的基板,其具有多個具有排斥墨水性能的擋墻,該多個擋墻間形成多個收容空間;將含有可固化成分的墨水分別填充在該多個收容空間中,并使各收容空間中的墨水的可固化成份的體積與該收容空間的容積大致相同,其中收容于各收容空間的墨水體積大于其所對應的收容空間的容積;固化墨水而使該墨水中的可固化成分在該收容空間中形成薄膜圖案層。

相較于現有技術,所述的薄膜圖案層的制造方法,將過量墨水填充至兩擋墻間形成的收容空間中,由于液體的表面張力特性,過量墨水會在各收容空間的開口上形成一鼓起的液面而不至于溢出。而于墨水干燥固化后,墨水中可固化成份留在收容空間中而形成薄膜圖案層,該薄膜圖案層的高度與擋墻的高度是大致相近。此制程可達到所需要的平坦度要求,解決一般噴墨式薄膜制程所造成的薄膜圖案層不均勻的狀況。

【附圖說明】

圖1是具有擋墻的預成型的基板的剖面示意圖。

圖2至圖3是圖1所示的預成型的基板的制造方法的示意圖。

圖4,圖5及圖6是使用圖1所示的預成型的基板制造具有薄膜圖案層的基板的方法的示意圖。

圖7是具有薄膜圖案層的傳統基板的剖面示意圖。

【具體實施方式】

下面將結合附圖對本發明作進一步的詳細說明。

請一并參閱圖1到圖6,提供了一種其上具有薄膜圖案層114的(例如,彩色層)基板100的制造方法。該方法步驟如下:提供一預成型的基板11,其具有多個擋墻104,該多個擋墻104間形成多個收容空間106;將含有可固化成分的墨水112(例如,彩色溶液)分別填充在該多個收容空間106中,其中收容于各收容空間的墨水112體積大于其所對應的收容空間106的容積;固化收容空間106中的墨水112以便該墨水112中的可固化成分在該收容空間106中形成薄膜圖案層。

如圖1所示,所提供的預成型的基板11包括一個基板100、多個形成在基板100上的擋墻104,以及由該多個擋墻104圍成的多個收容空間106。該多個擋墻104以預計的圖案排列并具有大致平坦的上表面1042。該多個收容空間106由該多個擋墻104限定而成。相鄰的擋墻104由一個收容空間106分割開。該基板100材料選用玻璃。當然,基板材料也可選用石英玻璃、硅晶圓、金屬或聚合物樹脂等。該多個擋墻104通常由聚合物樹脂制成。另外,該多個擋墻104可以由黑色樹脂或類似物制成以用作黑色矩陣。

如圖2及圖3所示,該預成型的基板11的制造方法具體包括以下步驟:提供一個基板100;在該基板100上涂布一層光阻材料層202;利用一個光罩200曝光該光阻材料層202;以及,顯影該光阻材料層202,形成多個擋墻104。

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