[發(fā)明專利]拱架定位系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200710003651.6 | 申請(qǐng)日： | 2007-01-23 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN101009238A | 公開(kāi)（公告）日： | 2007-08-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 高內(nèi)加·阿吉特;湋多森·蓋瑞·彼得 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 先進(jìn)科技新加坡有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L21/68 | 分類號(hào)： | H01L21/68;H01L21/50;B23Q1/01;B23Q9/00;H02K41/03;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京申翔知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 周春發(fā) |
| 地址： | 新加坡新加坡*** | 國(guó)省代碼： | 新加坡;SG |
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- 專利分類
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
