[發明專利]高頻懸臂式探針

無效

• 申請號: 200710002479.2
• 申請日: 2007-01-29
• 公開（公告）號: CN101236215A
• 公開（公告）日: 2008-08-06
• 發明（設計）人: 顧偉正;張嘉泰;林建和
• 申請（專利權）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 周長興

1.?一種高頻懸臂式探針，包括有：

一針座；

一傳輸線，具有至少一金屬導線及一同軸金屬，該同軸金屬包覆該金屬導線且電性導通至接地電位；以及，

至少一訊號針及一接地針，皆為具導電性的金屬材質所制成，各該訊號針及接地針具有一固定部、一針尖及自固定部向針尖延伸的一前臂，各該針尖用以點觸電子組件，各該固定部設于該針座，該訊號針的固定部接設于該金屬導線，該接地針的固定部電性連接該同軸金屬，該訊號針的前臂與接地針的前臂之間維持有特定間距。

2.?依據權利要求1所述的高頻懸臂式探針，其中，該傳輸線的金屬導線與同軸金屬之間維持有特定間距，使電性訊號于該金屬導線上傳輸時可維持其特性阻抗。

3.?依據權利要求2所述的高頻懸臂式探針，其中，電性訊號于該金屬導線上傳輸的特性阻抗與于該訊號針上傳輸的特性阻抗相當。

4.?依據權利要求1所述的高頻懸臂式探針，其中，該針座為具良好絕緣特性的材質所制成，各該訊號針及接地針的固定部分別接設于該金屬導線及該同軸金屬。

5.?依據權利要求1所述的高頻懸臂式探針，其中，該針座上設有一接地面，為具導電性的金屬材質所制成，該同軸金屬與該接地針通過該接地面電性連接。

6.?依據權利要求1所述的高頻懸臂式探針，其中，該傳輸線的軸向長度相當于各該訊號針或接地針的長度。

7.?依據權利要求1所述的高頻懸臂式探針，其中，具有二訊號針，該傳輸線具有相互并列的二金屬導線，該同軸金屬包覆該二金屬導線，各該金屬導線連接有一該訊號針。

8.?依據權利要求7所述的高頻懸臂式探針，其中，該傳輸線用以傳輸差動訊號。

9.?依據權利要求7所述的高頻懸臂式探針，其中，具有一接地針，二該接地針分別設于該二訊號針的兩側。

10.?一種高頻懸臂式探針卡的制造方法，包括有以下步驟：

a、備制一電路板，該電路板區分有上、下相對的一上表面及一下表面，以及內、外圍的一探針區及一測試區，該上表面的測試區可供電測機臺電性接觸以傳遞測試訊號至內圍的探針區；

b、于該下表面的探針區上環設一針座；

c、于該針座外圍設置復數個傳輸線，各該傳輸線具有至少一金屬導線及一同軸金屬，該同軸金屬包覆該金屬導線且電性導通至該電路板的接地電位，該些金屬導線用以傳遞上述測試訊號；

d、備制復數個金屬針，各該金屬針的長度相當于該電路板的中心至該針座的距離，各該金屬針的一端彎折有預定的角度以形成一針尖，各該金屬針的另一端固定于該針座上以形成一固定部；

e、將各該傳輸線的金屬導線接設于一該金屬針的固定部，因此該金屬導線所對應接設的金屬針形成為一訊號針；

f、與該訊號針維持一特定的間距上并列設有另一該金屬針，以形成一接地針，將各該接地針的固定部電性連接該同軸金屬。

11.?依據權利要求10所述高頻懸臂式探針卡的制造方法，其中，步驟b中該針座上設有一接地面，為具導電性的金屬材質所制成，步驟f中各該傳輸線的同軸金屬與該接地針通過該接地面電性連接。

12.?依據權利要求11所述高頻懸臂式探針卡的制造方法，其中，步驟f中相鄰二該訊號針之間設有一該接地針。

13.?依據權利要求10所述高頻懸臂式探針卡的制造方法，其中，該傳輸線具有相互并列的二該金屬導線，步驟e中各該傳輸線對應接設有二該訊號針。