[發(fā)明專利]回轉(zhuǎn)減速浸沒式物鏡電子光學聚焦、偏轉(zhuǎn)和信號的收集方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200710002340.8 | 申請日： | 2002-03-21 |
| 公開（公告）號： | CN1996547A | 公開（公告）日： | 2007-07-11 |
| 發(fā)明（設計）人： | Z·－W·陳 | 申請（專利權(quán)）人： | 漢民微測科技股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/141 | 分類號： | H01J37/141;H01J37/147;H01J37/28;H01J47/00;G01N23/00;G21G5/00 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 侯穎媖 |
| 地址： | 臺灣省新竹科*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 回轉(zhuǎn) 減速 浸沒 物鏡 電子光學 聚焦 偏轉(zhuǎn) 信號 收集 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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