[發明專利]圖案形成方法和模具

有效

• 申請號: 200710002263.6
• 申請日: 2007-01-17
• 公開（公告）號: CN101051183A
• 公開（公告）日: 2007-10-10
• 發明（設計）人: 荻野雅彥;宮內昭浩;安藤拓司;篍野谷千積;小森谷進;早田康成;片桐創一;太田洋一;中山義則
• 申請（專利權）人: 株式會社日立制作所
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00;G11B5/74;G11B5/82;G11B5/86
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 王永剛

1.一種圖案形成方法，將形成了凹凸形狀的圖案的透明模具按壓 到涂布了樹脂膜的基片上，從而將該凹凸圖案轉印到基片表面上，其 特征在于：

所述模具在同心圓上具有2個以上用于確定基片和模具之間的相 對位置關系的對準標記，利用所述對準標記和基片圓形開口部的端部 之間的相對位置關系，來執行模具和基片之間的位置對準，

所述對準標記為圓弧形，

形成了所述對準標記的同心圓半徑比所述基片圓形開口部半徑 小。

2.如權利要求1所述的圖案形成方法，其特征在于，所述對準標 記形成于相對于所述同心圓的中心對稱的位置上。

3.如權利要求2所述的圖案形成方法，其特征在于，將形成于相 對于所述同心圓的中心對稱的位置上的2個對準標記作為1組，至少 具有2組以上的對準標記。

4.如權利要求1所述的圖案形成方法，其特征在于，所述對準標 記形成在所述模具上的多個不同的面上。

5.如權利要求1所述的圖案形成方法，其特征在于，用于所述轉 印的微細的凹凸圖案和所述對準標記的深度不同。

6.如權利要求1所述的圖案形成方法，其特征在于，

該方法具有在確定相對位置時檢測所述對準標記有無破損的檢 測工序，在利用所述檢測工序檢測出破損的對準標記的情況下，利用 除去破損部分之外的對準標記來執行位置對準。

7.如權利要求6所述的圖案形成方法，其特征在于，通過參照位 置信息來檢測破損的對準標記。

8.如權利要求6所述的圖案形成方法，其特征在于，通過參照圖 案形狀來檢測破損的對準標記。