[發(fā)明專利]有機(jī)EL涂敷裝置及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710001928.1
• 申請(qǐng)日: 2003-07-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101058481A
• 公開(kāi)（公告）日: 2007-10-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 增市干雄;高村幸宏;森脇三造
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 大日本網(wǎng)目版制造株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C03C17/00
• 分類號(hào): C03C17/00;C03C17/28
• 代理公司: 北京紀(jì)凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 龍淳

(本申請(qǐng)是2003年7月7日提出的中請(qǐng)?zhí)枮?31465471的同名中請(qǐng)的分案中請(qǐng))

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及將有機(jī)EL(電熒光)材料吐出至玻璃基板等基板上的有機(jī)EL涂敷裝置及方法。

背景技術(shù)

這種有機(jī)EL涂敷裝置具有：取出貯存在供給源中的有機(jī)EL材料的泵；和通過(guò)管路從上述供給源將由泵吐出的有機(jī)EL材料向著形成在基板上的槽吐出的噴嘴。有機(jī)EL材料從噴嘴向著基板吐出。

有機(jī)EL材料是在有機(jī)溶劑中溶解高分子的溶解物制成的，具有通過(guò)壓力升高使有機(jī)EL材料中的高分子溶解物具有凝膠化的特性。由于這樣，會(huì)使噴嘴堵塞，有時(shí)不能從噴嘴穩(wěn)定地吐出有機(jī)EL材料。作為降低吐出穩(wěn)定性的主要原因，不僅是壓力，還有有機(jī)EL材料的流量和粘度等涂敷條件。根據(jù)涂敷條件，使用現(xiàn)有的噴嘴，則有時(shí)不能從噴嘴穩(wěn)定地吐出有機(jī)EL材料。因此，希望能有與有機(jī)EL材料的特性和涂敷條件適應(yīng)的噴嘴結(jié)構(gòu)。但目前，對(duì)吐出有機(jī)EL材料的噴嘴沒(méi)有進(jìn)行特別的考慮，因此不能穩(wěn)定地吐出有機(jī)EL材料，和很好地涂敷有機(jī)EL材料。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是考慮上述問(wèn)題而提出的，其目的是要提供一種能經(jīng)常穩(wěn)定地從噴嘴將有機(jī)EL材料吐出至基板上的有機(jī)EL涂敷裝置和方法。

本發(fā)明的有機(jī)EL涂敷裝置具有噴嘴，該噴嘴可從設(shè)在其前端的小孔向基板吐出含有有機(jī)EL材料的涂敷液，為了實(shí)現(xiàn)上述目的，在噴嘴內(nèi)部設(shè)有過(guò)濾器，該過(guò)濾器設(shè)在與小孔連通且可使涂敷液在小孔中流通的流路上。

在這種結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL涂敷裝置中，因?yàn)樵趪娮靸?nèi)裝著過(guò)濾器，即使異物等與有機(jī)EL材料一起在噴嘴內(nèi)流動(dòng)，但在該異物等到達(dá)小孔以前，就被過(guò)濾器收集除去。這樣，利用裝在內(nèi)部的過(guò)濾器，可防止噴嘴前端的噴嘴堵塞。

在這種有機(jī)EL涂敷裝置中，為了從噴嘴吐出含有有機(jī)EL材料的涂敷液，要將涂敷液輸送至噴嘴，因此，過(guò)濾器受到壓力作用，向小孔一側(cè)撓曲。通過(guò)將過(guò)濾器配置在僅偏離小孔該撓曲量的內(nèi)部位置上，可以防止撓曲的過(guò)濾器與小孔緊密接觸。另外，從以下的觀點(diǎn)來(lái)看，過(guò)濾器配置在內(nèi)部位置附近也有優(yōu)點(diǎn)。即：當(dāng)過(guò)濾器和小孔之間的間隔距離長(zhǎng)時(shí)，當(dāng)在該間隔距離之間輸送涂敷液時(shí)，作為溶解物的有機(jī)EL材料會(huì)產(chǎn)生凝膠化。當(dāng)凝膠化溶解物的尺寸比小孔大時(shí)，會(huì)塞住小孔形成堵塞。但當(dāng)過(guò)濾器配置在內(nèi)部位置附近，即設(shè)定過(guò)濾器和小孔的間隔距離為過(guò)濾器的撓曲量時(shí)，則幾乎不會(huì)發(fā)生在過(guò)濾器和小孔之間的溶解物的凝膠化，因此可解決上述問(wèn)題。

關(guān)于過(guò)濾器在噴嘴中的安裝，沒(méi)有特別的限制。如將過(guò)濾器相對(duì)于噴嘴可裝卸地設(shè)置，則即使過(guò)濾器上收集了許多異物需要更換過(guò)濾器時(shí)，也可只更換過(guò)濾器，就可再開(kāi)始涂敷處理，這比為了再開(kāi)始涂敷處理而要對(duì)噴嘴進(jìn)行分解掃除的情況比較，維護(hù)性能提高。

作為過(guò)濾器可自由裝卸地安裝在噴嘴中的具體結(jié)構(gòu)，例如，該噴嘴由在內(nèi)部空間中放置過(guò)濾器的噴嘴本體，和可配置在噴嘴本體的前端且在大致中心處形成小孔的前端部件構(gòu)成，過(guò)濾器可在噴嘴本體的內(nèi)部空間中自由裝卸，也可以將前端部件相對(duì)于噴嘴本體自由裝卸。為了正確設(shè)定過(guò)濾器和小孔的間隔距離，也可設(shè)置一個(gè)隔片，該隔片可在噴嘴本體的內(nèi)部空間中自由裝卸，并在內(nèi)部空間中插入過(guò)濾器和前端部件之間，以規(guī)定過(guò)濾器和前端部件之間的間隔。

噴嘴的結(jié)構(gòu)如下。即，上述噴嘴具有：在內(nèi)部空間中可放置過(guò)濾器的噴嘴本體；和可配置在噴嘴本體的前端且在其大致中心處形成小孔的前端部件，過(guò)濾器配置在偏離小孔的內(nèi)部位置附近，該偏離量?jī)H為在噴嘴本體的內(nèi)部空間流動(dòng)的涂敷液引起的過(guò)濾器的撓曲量。

當(dāng)過(guò)濾器可在噴嘴本體的內(nèi)部空間中自由裝卸，同時(shí)前端部件也可以相對(duì)于噴嘴本體自由裝卸時(shí)，更換過(guò)濾器容易，維護(hù)性能可以提高。

另外，為了正確設(shè)定過(guò)濾器和小孔之間的間隔距離，例如上述噴嘴具有隔片，該隔片可在上述噴嘴本體的內(nèi)部空間中自由插入和取出，并且在內(nèi)部空間中，插入過(guò)濾器和前端部件之間，以規(guī)定過(guò)濾器和前端部件之間的間隔。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的從噴嘴的噴嘴孔向著形成在基板上的規(guī)定寬度的槽連續(xù)吐出含有有機(jī)EL材料的涂敷液的有機(jī)EL涂敷裝置，其特征為，在上述基板上形成的槽的寬度在100微米以下，上述噴嘴孔的直徑在16～35微米范圍內(nèi)的規(guī)定值。