[發明專利]互連結構及其形成方法無效
| 申請號: | 200710001838.2 | 申請日: | 2007-01-05 |
| 公開(公告)號: | CN101000904A | 公開(公告)日: | 2007-07-18 |
| 發明(設計)人: | 尼古拉斯·C.·弗勒;蒂莫西·約瑟夫·達爾頓;薩特揚納拉揚納·文卡塔·尼塔 | 申請(專利權)人: | 國際商業機器公司 |
| 主分類號: | H01L23/522 | 分類號: | H01L23/522;H01L23/532;H01L21/768 |
| 代理公司: | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人: | 王永剛 |
| 地址: | 美國*** | 國省代碼: | 美國;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 互連 結構 及其 形成 方法 | ||
【權利要求書】:
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