[發(fā)明專利]濺鍍靶材的制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200710001003.7 | 申請日： | 2007-01-18 |
| 公開（公告）號： | CN101224496A | 公開（公告）日： | 2008-07-23 |
| 發(fā)明（設計）人： | 李仲仁;趙勤孝 | 申請（專利權）人： | 光洋應用材料科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B22F3/16 | 分類號： | B22F3/16;C23C14/34 |
| 代理公司： | 天津三元專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 胡畹華 |
| 地址： | 中國*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濺鍍靶材 制造 方法 | ||
1.一種濺鍍靶材的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：
將靶材原料粉末置入模具中，在溫度范圍于850℃至1400℃之間，而壓力范圍于3500～8000磅/平方英寸(psi)之間的情形下，進行120～180分鐘的熱壓方式進行燒結以形成初胚；
將上述的初胚在溫度與壓力分別為800～1100℃、22000～26000磅/平方英寸的情況下進行150～180分鐘的熱均壓，以得到濺鍍靶材。
2.根據(jù)權利要求1所述的濺鍍靶材的制造方法，其特征在于所述靶材原料是純釕，其在熱壓過程中的溫度是在1150～1400℃，而壓力是在4000～8000磅/平方英寸(psi)。
3.根據(jù)權利要求1所述的濺鍍靶材的制造方法，其特征在于所述靶材原料為Co、Cr、Pt、TiO2以制作出Co-Cr-Pt-TiO2的合金靶材，其在熱壓過程中的溫度是在1100～1275℃，而壓力在4000～8000磅/平方英寸(psi)。
4.根據(jù)權利要求1所述的濺鍍靶材的制造方法，其特征在于所述靶材原料為Co、Cr、Pt、SiO2以制作出Co-Cr-Pt-SiO2的合金靶材，其在熱壓過程中的溫度是在1000～1200℃，而壓力在3500～8000磅/平方英寸(psi)。
5.根據(jù)權利要求1所述的濺鍍靶材的制造方法，其特征在于所述靶材原料為Co、Cr、Pt、B及SiO2以制作出Co-Cr-Pt-B-SiO2的合金靶材，其在熱壓過程中的溫度是在850～1100℃，而壓力在3500～8000磅/平方英寸(psi)。
6.一種濺鍍靶材的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：
將靶材原料粉末混合，然后置入模具中，以熱壓方式進行燒結以形成初胚，該初胚不具有開放性孔洞；
將上述的初胚進行熱均壓處理，熱均壓處理時不需封罐，得到最終濺鍍靶材的密度不小于理論密度的96％，其中該靶材材料選自Co基合金、釕、釕基合金或Cr基合金。
7.根據(jù)權利要求6所述的濺鍍靶材的制造方法，其特征在于包括以下步驟：
將靶材原料粉末置入模具中，在溫度范圍于850℃至1400℃之間，而壓力范圍于3500～8000磅/平方英寸(psi)之間的情形下，進行120～180分鐘的熱壓方式進行燒結以形成初胚；
將上述的初胚在溫度與壓力分別為800～1100℃、22000～26000磅/平方英寸的情況下進行150～180分鐘的熱均壓，以得到濺鍍靶材。
8.根據(jù)權利要求7所述的濺鍍靶材的制造方法，其特征在于所述靶材原料是純釕，其在熱壓過程中的溫度是在1150～1400℃，而壓力是在4000～8000磅/平方英寸(psi)。
9.根據(jù)權利要求7所述的濺鍍靶材的制造方法，其特征在于所述靶材原料為Co、Cr、Pt、TiO2以制作出Co-Cr-Pt-TiO2的合金靶材，其在熱壓過程中的溫度是在1100～1275℃，而壓力在4000～8000磅/平方英寸(psi)。
10.根據(jù)權利要求7所述的濺鍍靶材的制造方法，其特征在于所述靶材原料為Co、Cr、Pt、SiO2以制作出Co-Cr-Pt-SiO2的合金靶材，其在熱壓過程中的溫度是在1000～1200℃，而壓力在3500～8000磅/平方英寸(psi)。
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