[發(fā)明專利]基板檢查及修正裝置、以及基板評估系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200680054826.X
• 申請日: 2006-08-01
• 公開（公告）號: CN101461063A
• 公開（公告）日: 2009-06-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 中谷敦夫;筱原真;黑田晉一;今井大輔
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;G01N21/88;G01N23/225;G02F1/13;G02F1/1368;G09F9/00;H01L21/3205;H01L21/66;H01L23/52;H01L29/786
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 壽 寧

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于液晶、有機(jī)EL(Electroluminescence，電致發(fā)光)等中的TFT(Thin?Film?Transistor，薄膜晶體管)陣列基板的制造步驟及檢查步驟，而且涉及對基板進(jìn)行缺陷檢查、并對由缺陷檢查檢測出的缺陷進(jìn)行修正的裝置，以及，根據(jù)對基板進(jìn)行缺陷檢查及修正所得的缺陷數(shù)據(jù)或檢查數(shù)據(jù)來對基板進(jìn)行評估，進(jìn)而根據(jù)這些缺陷數(shù)據(jù)或檢查數(shù)據(jù)而反饋給基板的制造步驟的基板評估系統(tǒng)。?

背景技術(shù)

TFT陣列例如用作對液晶顯示裝置或有機(jī)EL顯示裝置的像素電極進(jìn)行選擇的開關(guān)元件(switching?element)。?

在液晶基板或有機(jī)EL基板等的形成著TFT陣列的半導(dǎo)體基板的制造過程中，如圖4所示，制造過程中包括：對基板的TFT陣列等進(jìn)行檢查的檢查步驟(S100)，對檢查步驟中發(fā)現(xiàn)的基板缺陷進(jìn)行修正的步驟(S200)，以及對已修正的缺陷進(jìn)行重新檢查的步驟(S300)。?

作為TFT陣列基板的檢查，除了設(shè)在TFT陣列基板的制造步驟之后而單獨作為TFT陣列基板檢查步驟以外，也有時在制造步驟中進(jìn)行。該TFT陣列基板檢查過程中，對TFT陣列基板上所產(chǎn)生的TFT陣列中的例如短路、斷線或附著物等缺陷的有無、位置、缺陷類型等進(jìn)行判定并進(jìn)行分類。?

可以通過觀察液晶或有機(jī)EL的顯示狀態(tài)而對TFT陣列進(jìn)行缺陷檢測，當(dāng)通過觀察顯示狀態(tài)來對TFT陣列進(jìn)行檢查時，例如對于液晶面板而言，必須在TFT陣列基板與相對電極之間夾著液晶層的液晶顯示裝置的狀態(tài)下進(jìn)行檢查。?

另外，在未形成液晶顯示裝置的半成品的狀態(tài)下進(jìn)行檢查時，必須將具有液晶層和相對電極的檢查工具安裝在TFT陣列基板上，對TFT陣列輸入用于缺陷檢測的驅(qū)動信號，利用將此時的電壓狀態(tài)與正常狀態(tài)的信號進(jìn)行比較等的數(shù)據(jù)處理，來求出表示缺陷的位置坐標(biāo)或缺陷狀態(tài)的缺陷數(shù)據(jù)。?

該TFT陣列中，因掃描線(柵極線)或信號線(源極線)的斷線、掃描線(柵極線)與信號線(源極線)的短路、用來驅(qū)動像素的TFT的特性不良而引起的像素缺陷等的缺陷檢查，可例如通過以下方式來進(jìn)行：?將相對電極接地，對柵極線的全部或者一部分以預(yù)定間隔施加例如-15V～+15V的直流電壓，對源極線的全部或者一部分施加檢查信號。(例如，專利文獻(xiàn)1所揭示的背景技術(shù)。)?

由缺陷檢測所獲得的缺陷數(shù)據(jù)除了用于對各基板進(jìn)行缺陷檢測以外，還可通過對缺陷數(shù)據(jù)進(jìn)行解析，查明所述缺陷的原因，反饋給基板的制造過程。?

眾所周知，可使用電子線來對TFT陣列進(jìn)行缺陷檢測。在使用該電子線進(jìn)行TFT陣列檢查的過程中，利用檢查圖案，一邊驅(qū)動TFT陣列一邊對像素(ITO(Indium-tin-oxide，氧化銦錫)電極)照射電子線，對由該電子線照射所放射出的二次電子進(jìn)行檢測，由此，將施加在像素(ITO電極)上的電壓波形轉(zhuǎn)換成二次電子波形，且根據(jù)信號使其形成為圖像，由此對TFT陣列進(jìn)行電性檢查。?

這些步驟通過缺陷檢查裝置、缺陷修正裝置等獨立的裝置來進(jìn)行，當(dāng)在基板的生產(chǎn)線上進(jìn)行所述各個步驟時，按照步驟依次配置這些裝置，以沿著生產(chǎn)線來運送基板。?

圖5是用以對現(xiàn)有的基板檢查中的裝置結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明的概略結(jié)構(gòu)圖。?

圖5中，從基板生產(chǎn)線的上游向下游配置著陣列檢查裝置20和修正裝置30，各個裝置與主機(jī)服務(wù)器(host?server)50之間進(jìn)行數(shù)據(jù)的發(fā)送接收。?

首先，將前段步驟中形成了陣列的基板100，投入到陣列檢查裝置20中。陣列檢查裝置20使用從主機(jī)服務(wù)器50所獲得的關(guān)于基板的位置數(shù)據(jù)來進(jìn)行對準(zhǔn)，之后進(jìn)行陣列檢查。陣列檢查例如使用電子光束等的輸入探針來對基板面進(jìn)行掃描，并根據(jù)所得的檢測信號來進(jìn)行缺陷檢查，將缺陷檢查的結(jié)果以數(shù)據(jù)的形式發(fā)送到主機(jī)服務(wù)器50，并運出基板100。?

其次，將從陣列檢查裝置20運出的基板100投入到修正裝置30中。修正裝置30從主機(jī)服務(wù)器50獲得缺陷檢查的結(jié)果，并根據(jù)所述檢查數(shù)據(jù)來對缺陷部位進(jìn)行修正，將修正結(jié)果以數(shù)據(jù)的形式發(fā)送到主機(jī)服務(wù)器50，然后運出基板100。?

將從修正裝置30運出的基板100再次投入到陣列檢查裝置20中，對缺陷部分的修正狀態(tài)進(jìn)行確認(rèn)。?

專利文獻(xiàn)1：日本專利特開平5-307192號公報?

以前，陣列檢查裝置以及修正裝置分別由獨立的裝置而構(gòu)成，因此在基板相對于各裝置的運出送入、裝置內(nèi)的基板的對準(zhǔn)等的與基板移動相關(guān)的方面、以及在各裝置與設(shè)在中央的系統(tǒng)服務(wù)器之間進(jìn)行發(fā)送接收數(shù)據(jù)的相關(guān)方面存在問題。