[發(fā)明專利]氣體供給單元和氣體供給系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200680054549.2
• 申請日: 2006-06-02
• 公開（公告）號: CN101438091A
• 公開（公告）日: 2009-05-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 守谷修司;長岡秀樹;岡部庸之;板藤寬;土居廣樹;伊藤稔
• 申請（專利權(quán)）人: 喜開理株式會社;東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: F16L41/02
• 分類號: F16L41/02;F16K27/00;F17D5/00
• 代理公司: 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 張建濤;車 文

1.一種氣體供給單元，該氣體供給單元包括：

輸入模塊，該輸入模塊連接至工作氣體供給源，以輸入工作氣體；

輸出模塊，該輸出模塊將工作氣體輸出至工作氣體供給目標(biāo)；

控制工作氣體的第一流體控制裝置和第二流體控制裝置；

第三流體控制裝置，該第三流體控制裝置控制所述工作氣體，并 且布置在將所述工作氣體從所述輸入模塊輸送至所述輸出模塊的輸送 方向上；

第一流路模塊，該第一流路模塊具有側(cè)表面，所述第一流體控制 裝置連接在上述側(cè)表面上；以及

第二流路模塊，該第二流路模塊具有側(cè)表面，所述第二流體控制 裝置連接在上述側(cè)表面上，其中

在與將所述工作氣體從所述輸入模塊輸送至所述輸出模塊的輸送 方向垂直的方向上，所述第一流路模塊和所述第二流路模塊彼此堆疊， 并且，所述第一流體控制裝置和所述第二流體控制裝置布置在所述第 三流體控制裝置和安裝表面之間，所述氣體供給單元要安裝在所述安 裝表面上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體供給單元，其中

所述第一流路模塊在頂表面和底表面上每個形成有至少一個端 口，上述端口通過所述第一流體控制裝置相互連通，并且，

所述第二流路模塊在頂表面和與連接所述第二流體控制裝置的側(cè) 表面相對的側(cè)表面上每個形成有至少一個端口，所述第二流路模塊的 所述端口通過所述第二流體控制裝置相互連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體供給單元，其中

所述第一流路模塊形成有在與連接所述第一流體控制裝置的側(cè)表 面相對的側(cè)表面中開口的至少一個端口，所述第一流路模塊的在與連 接所述第一流體控制裝置的側(cè)表面相對的側(cè)表面中開口的所述至少一 個端口通過所述第一流體控制裝置與在所述第一流路模塊的頂表面和 底表面中開口的端口連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體供給單元，其中

旁通管布置在所述第三流體控制裝置和所述安裝表面之間，其中

所述旁通管的一端連接至所述第一流路模塊或者所述第二流路模 塊，并且

所述旁通管的另一端連接至安裝在質(zhì)量流控制器的下游的流路模 塊。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體供給單元，其中

旁通管布置在所述第三流體控制裝置和所述安裝表面之間，其中

所述旁通管的一端連接至所述第一流路模塊或者所述第二流路模 塊，并且

所述旁通管的另一端連接至安裝在質(zhì)量流控制器的下游的流路模 塊。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣體供給單元，其中

旁通管布置在所述第三流體控制裝置和所述安裝表面之間，其中

所述旁通管的一端連接至所述第一流路模塊或者所述第二流路模 塊，并且

所述旁通管的另一端連接至安裝在質(zhì)量流控制器的下游的流路模 塊。

7.一種氣體供給系統(tǒng)，該氣體供給系統(tǒng)包括：

多個如權(quán)利要求1所述的氣體供給單元，

多對支架，所述多對支架中的每對支架安裝在每個氣體供給單元 的兩端上，用于水平地保持所述氣體供給單元，以及

安裝構(gòu)件，所述對支架固定到所述安裝構(gòu)件，其中

所述多對支架固定到所述安裝構(gòu)件上，并且所述氣體供給單元被 集成在一起。

8.一種氣體供給系統(tǒng)，該氣體供給系統(tǒng)包括：

多個如權(quán)利要求2所述的氣體供給單元，

多對支架，所述多對支架中的每對支架安裝在每個氣體供給單元 的兩端上，用于水平地保持所述氣體供給單元，以及

安裝構(gòu)件，所述對支架固定到所述安裝構(gòu)件，其中

所述多對支架固定到所述安裝構(gòu)件，并且所述氣體供給單元被集 成在一起。