[發明專利]濕度傳感器有效
| 申請號： | 200680054487.5 | 申請日： | 2006-11-27 |
| 公開（公告）號： | CN101438149A | 公開（公告）日： | 2009-05-20 |
| 發明（設計）人： | 鈴木一博 | 申請（專利權）人： | 德普臘斯工程股份有限公司 |
| 主分類號： | G01N27/22 | 分類號： | G01N27/22;G01N27/12 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 陳海濤;樊衛民 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濕度 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種具有濕敏膜的濕度傳感器，所述濕敏膜由聚合物形成，其 中所述聚合物的親水基團通過至少一個疏水基團與其它親水基團結 合，其中所述疏水基團由多元環組成，其中所述聚合物的玻璃化轉變 溫度在240℃～500℃的范圍內，且其中所述聚合物包括由下式表示的 單元結構中的至少任何一種：
[化學式1]
[化學式2]
[化學式3]
(3)
[化學式4]
[化學式5]
[化學式6]
[化學式7]
2.一種具有濕敏膜的半導體器件，所述濕敏膜由聚合物形成，其 中所述聚合物的親水基團通過至少一個疏水基團與其它親水基團結 合，其中所述疏水基團由多元環組成，其中所述聚合物的玻璃化轉變 溫度在240℃～500℃的范圍內，且其中所述聚合物包括由下式表示的 單元結構中的至少任何一種：
[化學式8]
[化學式9]
[化學式10]
[化學式11]
[化學式12]
[化學式13]
[化學式14]
3.如權利要求2所述的半導體器件，其中溫度傳感器也被連接到 所述半導體器件中。
4.如權利要求3所述的半導體器件，其中所述傳感器的輸出線路 也被連接到所述半導體器件中。
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