[發明專利]單斜CeTi2O6薄膜和用來制備該單斜CeTi2O6薄膜的溶膠-凝膠法

無效

• 申請號: 200680053857.3
• 申請日: 2006-03-27
• 公開（公告）號: CN101400822A
• 公開（公告）日: 2009-04-01
• 發明（設計）人: A·弗馬;S·A·阿格尼赫特瑞;A·K·巴克什
• 申請（專利權）人: 科學工業研究委員會
• 主分類號: C23C18/12
• 分類號: C23C18/12;C07F17/00;C09K9/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司
• 代理人: 余 穎

1.一種單斜CeTi₂O₆薄膜，其具有以下特征：

a)膜的孔徑在200-300納米，

b)結晶尺寸為4.5-16納米，

c)550納米的透射率為75-80％，

d)550納米的透射率調制＜1％，

e)折射率為1.99，

f)間接帶隙為3.25eV，

g)離子存儲容量為19-23mCcm^-2。

2.一種用來制備如權利要求1所述的單斜CeTi₂O₆薄膜形式的溶膠-凝膠方法，所述方法包括以下步驟：

a)制備七水合氯化鈰在無水乙醇中的濃度0.20-0.25M的醇溶液，

b)將步驟a)中制備的溶液加入濃度為0.331-0.624M的丙醇鈦溶液中，然后攪拌4-10分鐘，在20-30℃的溫度下老化一周時間，

c)將上述老化的溶液旋涂在導電的基材上或顯微載玻片上，然后空氣干燥10-20分鐘，得到沉積的未煅燒膜，

d)在580-620℃的溫度范圍內煅燒步驟(c)得到的沉積的未煅燒膜5-10分鐘，得到所需的單斜CeTi₂O₆薄膜。

3.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述七水合氯化鈰在無水乙醇中的摩爾濃度為0.22M。

4.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述步驟b)中丙醇鈦溶液的摩爾濃度為0.372-0.559M。

5.如權利要求2所述的方法，其特征在于，含七水合氯化鈰和丙醇鈦的溶液中使用的Ce∶Ti的摩爾比為0.5∶1。

6.如權利要求2所述的方法，其特征在于，用來制備沉積的未煅燒膜的步驟b)制得的溶液處于剛剛開始形成凝膠的狀態。

7.如權利要求2所述的方法，其特征在于，步驟b)中得到的使用的老化的溶液以3000rpm的轉速旋涂35秒。

8.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述空氣干燥工藝持續15分鐘。

9.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述干燥工藝之后得到的沉積的未煅燒膜在600℃下煅燒5分鐘。

10.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所用的導電的基材是涂覆了摻雜氟的氧化錫的玻璃。