[發明專利]具有主動微定位的用于將第一設備固定到第二設備的裝置

有效

• 申請號: 200680053678.X
• 申請日: 2006-12-29
• 公開（公告）號: CN101421656A
• 公開（公告）日: 2009-04-29
• 發明（設計）人: J·迪皮伊;L·布朗夏爾
• 申請（專利權）人: 泰勒斯公司
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00;G02B7/182;G02B26/08
• 代理公司: 北京戈程知識產權代理有限公司
• 代理人: 程 偉;王錦陽

1.一種用于相對于第二設備(E2)固定第一設備(E1)的裝置，其特征在于該裝置包括：

(i)包括剛性中心體(CC)和兩個基本相同的終端體(CTi)的結構，所述的終端體延長所述的剛性中心體(CC)的兩個相反端，并且每個所述的終端體(CTi)包括限定關于對稱元件對稱的柔性中間部件(PDi)的頸部，所述的柔性中間部件(PDi)具有相對于所述的對稱元件的第一延伸、位于中心位置、并通過剛性內部部件(PIi)延長，所述的剛性內部部件(PIi)關于所述的對稱元件對稱、具有相對于所述的對稱元件的大于所述的第一延伸的第二延伸、連接到所述的剛性中心體(CC)的所述端之一、并通過剛性外部部件(PEi)延長，以及所述的剛性外部部件(PEi)關于所述的對稱元件對稱、具有相對于所述的對稱元件的大于所述的第一延伸的第三延伸、與所述的剛性內部部件(PIi)間隔并連接到所述的第一設備(E1)或第二設備(E2)；

(ii)至少兩個壓電換能器(Tij)，分別安放在兩個終端體(CTi)的內部部件(PIi)和外部部件(PEi)之間限定的自由空間(Si)中，每一個壓電換能器(Tij)用于將軸向尺寸變化轉換為代表所述變化的幅度的測量電流，或者將控制電流轉化為相應的軸向尺寸變化；以及

(iii)控制器(MC)，用于為所述的壓電換能器(Tij)中的至少之一確定至少一個軸向尺寸變化，以將所述的第一設備(E1)定位在相對于所述的第二設備(E2)的選定位置上。

2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述的控制器(MC)用于為每個換能器(Tij)確定軸向尺寸變化，以將所述的第一設備(E1)定位在相對于所述的第二設備(E2)的選定位置上。

3.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述的控制器(MC)用于在接收到來自所述的終端體(CTi)之一的換能器(Tij)的由其外部部件(PEi)相對于其內部部件(PIi)的第一定向誤差導致的測量電流的情況下，確定相應的軸向尺寸變化并產生通向其他終端體(CTi’)的換能器(Ti’j)的控制電流，從而該換能器將其轉化為能夠導致其終端體(CTi’)的外部部件(PEi’)相對于其內部部件(PIi’)的與第一定向誤差相反的第二定向誤差的軸向尺寸變化。

4.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，終端體(CTi)中的每個自由空間(Si)安放相反作用的第一壓電換能器(Ti1)和第二壓電換能器(Ti2)，并且所述的控制器(MC)用于在接收到來自所述的終端體(CTi)之一的第一換能器(Ti1)的由其外部部件相對于內部部件的第一定向誤差導致的測量電流的情況下，確定第一相應軸向尺寸變化并產生：(i)通向同一終端體(CTi)的第二換能器(Ti2)的第一控制電流，使得該換能器將其轉化為與第一軸向尺寸變化符號相反、幅度相同的第二軸向尺寸變化，(ii)通向其他終端體(CTi’)的第一換能器(Ti’1)的第二控制電流，使得該換能器將其轉化為導致其終端體(CTi’)的外部部件相對于其內部部件的與第一定向誤差相反的第二定向誤差的第三軸向尺寸變化，以及(iii)通向該其他終端體(CTi’)的第二換能器(Ti’2)的第三控制電流，使得該換能器將其轉化為與所述的第三軸向尺寸變化符號相反、幅度相同的第四軸向尺寸變化。

5.如權利要求1至3之一所述的裝置，其特征在于，終端體(CTi)中的每個自由空間(Si)安放三個彼此成120°的壓電換能器(Tij)。

6.如權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述的控制器(MC)用于在接收到來自所述的終端體(CTi)之一的至少一個換能器(Tij)的由其外部部件相對于其內部部件的第一定向誤差導致的至少一個測量電流的情況下，確定每個相應的軸向尺寸變化并產生：(i)通向這個同一終端體(CTi)的還未傳送測量電流的每個換能器(Tij’)的控制電流，使得該換能器將其轉化為軸向尺寸變化，以及(ii)通向其他終端體(CTi’)的三個換能器(Ti’j)的控制電流，使得這些換能器將它們轉化為導致它們的終端體(CTi)的外部部件相對于其內部部件的與第一定向誤差相反的第二定向誤差的軸向尺寸變化。

7.如權利要求6所述的裝置，其特征在于，每個終端體(CTi)的所述的內部部件(PIi)和外部部件(PEi)的至少之一是選定形狀的平臺，每個終端體的中間部件(PDi)具有內凹形狀。