[發(fā)明專利]放電表面處理用電極的制造方法及放電表面處理用電極

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200680052887.2
• 申請(qǐng)日: 2006-09-11
• 公開（公告）號(hào): CN101374975A
• 公開（公告）日: 2009-02-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 寺本浩行;佐藤行雄;鈴木昭弘;后藤昭弘;中村和司
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三菱電機(jī)株式會(huì)社;株式會(huì)社IHI
• 主分類號(hào): C23C26/00
• 分類號(hào): C23C26/00;B22F5/00
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 何立波;張?zhí)焓?/td>

1.一種放電表面處理用電極的制造方法，該放電表面處理用電 極用于下述放電表面處理，即，以將金屬粉末、金屬化合物的粉末、 或?qū)щ娦蕴沾煞勰┏尚投鴺?gòu)成的成型粉體作為電極，在加工液中或氣 體中，使前述電極和工件之間發(fā)生脈沖狀放電，利用其能量在工件表 面形成由前述電極的材料構(gòu)成的覆膜、或由前述電極的材料借助前述 脈沖狀放電的能量反應(yīng)得到的物質(zhì)構(gòu)成的覆膜，

其特征在于，該制造方法包括：

氧元素量調(diào)整工序，其使粉末中的氧元素增加；

混合工序，其將前述氧元素增加后的粉末、有機(jī)粘接劑以及溶 劑混合，制作混合液；

造粒工序，其使用前述混合液進(jìn)行造粒，形成造粒粉末；以及

成型工序，其將前述造粒粉末進(jìn)行成型，制作氧元素濃度為4 重量％至16重量％的成型體。

2.如權(quán)利要求1所述的放電表面處理用電極的制造方法，其特 征在于，

在前述氧元素量調(diào)整工序中，對(duì)金屬粉末進(jìn)行處理，以使所含 有的氧元素量為4重量％至16重量％。

3.如權(quán)利要求2所述的放電表面處理用電極的制造方法，其特 征在于，

將前述金屬粉末粉碎至平均粒徑為0.5μm～1.7μm。

4.如權(quán)利要求2所述的放電表面處理用電極的制造方法，其特 征在于，

將前述金屬粉末在氧化氣氛中加熱。

5.如權(quán)利要求2所述的放電表面處理用電極的制造方法，其特 征在于，

將氧化物粉末與前述金屬粉末混合。

6.如權(quán)利要求2所述的放電表面處理用電極的制造方法，其特 征在于，

前述金屬粉末為含有從由硅(Si)、鉻(Cr)、鐵(Fe)、鈷 (Co)、鎳(Ni)、鋯(Zr)、鉬(Mo)、鋇(Ba)、錸(Re)、 鎢(W)組成的群中選出的大于或等于一種元素的氧化物的金屬粉末。

7.如權(quán)利要求2所述的放電表面處理用電極的制造方法，其特 征在于，

作為前述有機(jī)粘接劑，使用從由石蠟、甲基丙烯酸-異丁酯、硬 脂酸、聚乙烯醇組成的群中選出的至少一種。

8.如權(quán)利要求2所述的放電表面處理用電極的制造方法，其特 征在于，

使前述有機(jī)粘接劑的混合量為前述氧元素量調(diào)整工序后的金屬 粉末的重量的1重量％～20重量％。

9.如權(quán)利要求2所述的放電表面處理用電極的制造方法，其特 征在于，

作為前述溶劑，使用從由水、乙醇、丁醇、丙醛、庚烷、異丁 烷、丙酮、正己烷組成的群中選出的至少一種。

10.如權(quán)利要求2所述的放電表面處理用電極的制造方法，其特 征在于，

作為前述混合液，制作前述氧元素量調(diào)整工序后的金屬粉末和 前述有機(jī)粘接劑整體的溶質(zhì)成分的體積總量，相對(duì)于前述溶劑的體積 比為2體積％～30體積％的混合液。

11.如權(quán)利要求2所述的放電表面處理用電極的制造方法，其特 征在于，

使前述造粒粉末的平均粒徑為10μm～100μm。

12.如權(quán)利要求2所述的放電表面處理用電極的制造方法，其特 征在于，

以50MPa～200MPa的壓力對(duì)前述造粒粉末進(jìn)行擠壓成型而制 作成型體。

13.如權(quán)利要求12所述的放電表面處理用電極的制造方法，其 特征在于，

該制造方法包括下述工序，其在將前述成型體在150℃～400℃ 的溫度下保持30分鐘～2小時(shí)后，在600℃～1000℃的溫度下燒結(jié)1 小時(shí)～4小時(shí)。

14.一種放電表面處理用電極，其用于下述放電表面處理，即， 以將金屬粉末、金屬化合物的粉末、或?qū)щ娦蕴沾煞勰┏尚投鴺?gòu)成的 成型粉體作為電極，在加工液中或氣體中，在前述電極和工件之間發(fā) 生脈沖狀放電，利用其能量在工件表面形成由前述電極的材料構(gòu)成的 覆膜、或由前述電極的材料借助前述脈沖狀放電的能量反應(yīng)得到的物 質(zhì)構(gòu)成的覆膜，

其特征在于，

由4探針法測(cè)得的電極表面的電阻值為5×10^-3Ω～10×10^-3Ω， 且電極中的氧元素濃度為4重量％～10重量％。