[發明專利]化學藥品分離的裝置及方法

無效

• 申請號: 200680052301.2
• 申請日: 2006-12-15
• 公開（公告）號: CN101384379A
• 公開（公告）日: 2009-03-11
• 發明（設計）人: 埃爾曼·伊茨科維茨
• 申請（專利權）人: 固態半導體設備有限公司;埃爾曼·伊茨科維茨
• 主分類號: B08B3/00
• 分類號: B08B3/00
• 代理公司: 北京中譽威圣知識產權代理有限公司
• 代理人: 叢 芳;彭曉玲

1.一種用于對晶片進行濕化學法處理的裝置，包括:

用于支持和旋轉晶片的晶片夾頭；

能輸送化學流體和去離子水到晶片表面的流體配送管嘴；以及

一環形的收集容器，該環形收集容器沿著垂直方向的移動，能導致處于打開的位置以收集液體，或者導致處于關閉的基本上密封的位置以從收集容器中轉移液體，該收集容器具有一用于收集要收集的液體的排液管。

2.一種使用一種或多種處理液體對襯底進行處理以及使用沖洗液體對該襯底進行沖洗的裝置，所述裝置包含:

用于支持和旋轉所述襯底的夾頭；

能收集所述處理液體以用于回收、重復使用或其它處理的收集系統，以使所述收集的處理液體能與所述的沖洗液體基本上分離。

3.一種使用一種或多種處理液體對襯底進行處理以及使用一種或多種沖洗液體對該襯底進行沖洗的裝置，所述裝置包含:

用于支持和旋轉所述襯底的夾頭；

一種收集系統進一步包括:

基本上可垂直定位的收集容器；以及

收集容器蓋，當所述收集容器處于第一位置時，所述容器是打開的以接受處理液體，而當所述收集容器處于第二位置時，所述容器是關閉的以基本上防止沖洗液體進入所述容器。

4.根據權利要求3所述的裝置，進一步包括:

與所述容器液體連通的排液管，所述處理液體可以通過排液管，并可被回收，以用于在對襯底材料將來處理時重復使用，或者其它用途或處理。

5.一種用于對襯底材料處理、基本上保持處理液體和沖洗液體相分離的方法，所述襯底具有上下表面，其中所述方法包含步驟:

將所述襯底固定到旋轉夾頭上；

當所述處理液體被應用到所述襯底的所述上表面時，旋轉所述夾頭；

當收集容器處于基本上打開的位置時，收集所述處理液體到該收集容器中，該收集容器位置可變；

定位所述收集容器至基本上關閉的位置；

當所述收集容器處于基本上關閉的位置時，使用沖洗液體對所述旋轉的襯底進行沖洗；以及

收集沖洗液體，以使所述處理液體與所述沖洗液體基本上不接觸，所屬處理液體可以在將來的襯底處理中重復使用或者處理。