[發(fā)明專利]化學(xué)藥品分離的裝置及方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200680052301.2
• 申請(qǐng)日: 2006-12-15
• 公開（公告）號(hào): CN101384379A
• 公開（公告）日: 2009-03-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 埃爾曼·伊茨科維茨
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 固態(tài)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司;埃爾曼·伊茨科維茨
• 主分類號(hào): B08B3/00
• 分類號(hào): B08B3/00
• 代理公司: 北京中譽(yù)威圣知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 叢 芳;彭曉玲

1.一種用于對(duì)晶片進(jìn)行濕化學(xué)法處理的裝置，包括:

用于支持和旋轉(zhuǎn)晶片的晶片夾頭；

能輸送化學(xué)流體和去離子水到晶片表面的流體配送管嘴；以及

一環(huán)形的收集容器，該環(huán)形收集容器沿著垂直方向的移動(dòng)，能導(dǎo)致處于打開的位置以收集液體，或者導(dǎo)致處于關(guān)閉的基本上密封的位置以從收集容器中轉(zhuǎn)移液體，該收集容器具有一用于收集要收集的液體的排液管。

2.一種使用一種或多種處理液體對(duì)襯底進(jìn)行處理以及使用沖洗液體對(duì)該襯底進(jìn)行沖洗的裝置，所述裝置包含:

用于支持和旋轉(zhuǎn)所述襯底的夾頭；

能收集所述處理液體以用于回收、重復(fù)使用或其它處理的收集系統(tǒng)，以使所述收集的處理液體能與所述的沖洗液體基本上分離。

3.一種使用一種或多種處理液體對(duì)襯底進(jìn)行處理以及使用一種或多種沖洗液體對(duì)該襯底進(jìn)行沖洗的裝置，所述裝置包含:

用于支持和旋轉(zhuǎn)所述襯底的夾頭；

一種收集系統(tǒng)進(jìn)一步包括:

基本上可垂直定位的收集容器；以及

收集容器蓋，當(dāng)所述收集容器處于第一位置時(shí)，所述容器是打開的以接受處理液體，而當(dāng)所述收集容器處于第二位置時(shí)，所述容器是關(guān)閉的以基本上防止沖洗液體進(jìn)入所述容器。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，進(jìn)一步包括:

與所述容器液體連通的排液管，所述處理液體可以通過排液管，并可被回收，以用于在對(duì)襯底材料將來處理時(shí)重復(fù)使用，或者其它用途或處理。

5.一種用于對(duì)襯底材料處理、基本上保持處理液體和沖洗液體相分離的方法，所述襯底具有上下表面，其中所述方法包含步驟:

將所述襯底固定到旋轉(zhuǎn)夾頭上；

當(dāng)所述處理液體被應(yīng)用到所述襯底的所述上表面時(shí)，旋轉(zhuǎn)所述夾頭；

當(dāng)收集容器處于基本上打開的位置時(shí)，收集所述處理液體到該收集容器中，該收集容器位置可變；

定位所述收集容器至基本上關(guān)閉的位置；

當(dāng)所述收集容器處于基本上關(guān)閉的位置時(shí)，使用沖洗液體對(duì)所述旋轉(zhuǎn)的襯底進(jìn)行沖洗；以及

收集沖洗液體，以使所述處理液體與所述沖洗液體基本上不接觸，所屬處理液體可以在將來的襯底處理中重復(fù)使用或者處理。