[發明專利]用于泵的誤差容積系統和方法

有效

• 申請號: 200680051205.6
• 申請日: 2006-11-20
• 公開（公告）號: CN101360678A
• 公開（公告）日: 2009-02-04
• 發明（設計）人: G·貢內拉;J·塞德羅恩
• 申請（專利權）人: 恩特格里公司
• 主分類號: B67D5/08
• 分類號: B67D5/08
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 朱德強

1.一種補償分配泵的分配容積誤差的方法，包括：

根據分配配方來確定分配容積量；

根據分配配方來確定流體特性值；

根據流體特性值以及誤差容積和流體特性之間的相關性確定誤差 容積量，其中所述誤差容積量用于引起包括管的分配系統中的柔量； 以及

控制分配馬達，以使得分配泵中的活塞移動到一位置，該位置用 于引起根據配方和誤差容積量確定的分配容積量，以便從噴嘴分配流 體的所述分配容積量。

2.根據權利要求1所述的方法，其中控制分配馬達還包括控制該 分配馬達，以在由配方規定的時間內將活塞移動到所述位置，以分配 所述分配容積量。

3.根據權利要求1所述的方法，還包括：

接收用戶規定的誤差容積，并且其中所述位置還用于引起所述用 戶規定的誤差容積，并且其中控制分配馬達還包括控制所述分配馬達 以在所述配方規定的時間內將所述活塞移動到所述位置，以分配所述 分配容積量。

4.根據權利要求1所述的方法，還包括：

在測試分配系統中推導誤差容積和流體特性之間的相關性。

5.根據權利要求4所述的方法，其中推導相關性還包括：

用具有不同流體特性值的流體以相應的預期分配容積量來執行一 系列測試分配；

相對于預期分配容積量來分析測試分配的一系列實際分配容積 量，以確定流體特性和誤差容積之間的關系。

6.根據權利要求4所述的方法，其中推導相關性還包括：

a)用測試流體以相應的預期分配容積量來執行一系列測試分配；

b)確定實際分配容積量的平均值；

c)對于一系列的額外預期分配容積量中的每個重復步驟a-b；

d)對于一系列的額外測試流體中的每種重復步驟a-c，其中每種 測試流體都具有不同的流體特性值；

e)根據平均實際分配容積量和對應的預期分配容積量，確定誤差 容積和流體特性之間的關系。

7.根據權利要求4所述的方法，其中測試分配系統被構造為近似 于半導體制造晶片涂層系統。

8.根據權利要求4所述的方法，其中測試分配系統包括：

第一長度的管，其連接在多級泵的出口和出口閥之間；和

第二長度的管，其連接在出口閥和噴嘴之間。

9.根據權利要求4所述的方法，其中相關性是使用測試泵來推導 的，并且該相關性被擴散到一系列的泵以作隨后的用途。

10.根據權利要求1所述的方法，其中流體特性是粘度。

11.一種多級泵，包括：

限定了分配室的泵體；

設置在分配室中的隔膜；

在分配室內往復運動以便移動隔膜的活塞，其中隔膜是滾動隔膜；

連接至活塞以使得活塞往復運動的分配馬達；

連接至分配馬達的控制器，該控制器包括用于儲存流體特性和誤 差容積之間的相關性的存儲器，所述誤差容積用于引起包括管的分配 系統中的柔量，該控制器是可操作的，以便：

根據分配配方來確定分配容積量；

根據分配配方來確定流體特性值；

訪問存儲器，以便根據流體特性值和所述相關性來確定誤差 容積量；以及

控制分配馬達，以便將活塞移動到一位置，該位置通過控制 器與排出至少誤差容積量和分配容積量相關。

12.根據權利要求11所述的多級泵，其中控制器也是可操作的， 用于控制分配馬達以在由配方指定的時期內將活塞移動到所述位置， 以便分配所述分配容積量。

13.根據權利要求11所述的多級泵，其中控制器也是可操作的， 用于控制分配馬達，以便將活塞移動到另一位置，該位置通過控制器 與排出至少誤差容積量、分配容積量以及用戶規定的額外誤差容積量 相關。