[發明專利]遠程區域中的壓力調節

無效

• 申請號: 200680050842.1
• 申請日: 2006-11-08
• 公開（公告）號: CN101356481A
• 公開（公告）日: 2009-01-28
• 發明（設計）人: 阿里·沙吉;西達爾斯·P·那加爾卡蒂;G·希爾
• 申請（專利權）人: MKS儀器公司
• 主分類號: G05D7/06
• 分類號: G05D7/06;G05D16/20;H01L21/321
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 陳松濤;王英

1、一種用于對區域內的壓力進行遠程控制的系統，所述系統包括：

壓力傳感器，其用于對可經由導管連接至所述區域并且遠離所述區域 的外殼內的壓力進行測量；

閥門系統，其用于調節流體流入和流出所述外殼并且調節流體經由所 述導管流入所述區域中，所述閥門系統包括至少一個用于對流入所述外殼 的流體的輸入流率進行調節的入口比例閥、和至少一個用于對從所述外殼 流出的流體的輸出流率進行調節的出口比例閥；

區域壓力估計器，其用于根據所述壓力傳感器測量的壓力和所述導管 的已知特性來計算所述區域內的估計壓力；以及

控制器，其用于通過操作所述入口比例閥和所述出口比例閥來調節所 述區域內的壓力，以便根據所述區域壓力估計器估計的壓力和所述區域的 壓力設定點來控制所述輸入流率和所述輸出流率。

2、如權利要求1所述的系統，

其中所述控制器還用于將輸入流量指令信號發送到所述入口比例閥而 將輸出流量指令信號發送到所述出口比例閥，以便分別根據所述輸入流量 指令信號和所述輸出流量指令信號來控制所述輸入流率和所述輸出流率。

3、如權利要求1所述的系統，

其中所述控制器還用于實施對所述輸入流率和所述輸出流率的PI(比例 -積分)控制；

其中所述輸入流量指令信號由下式給出：

Q_in＝κPin(P_t-P_z)+κlin∫(P_t-P_z)dt，

其中所述輸出流量指令信號由下式給出：

Q_out＝κPout(P_t-P_z)+κlout∫(P_t-P_z)dt；并且

其中：

Q_in表示所述輸入流率，

Q_out表示所述輸出流率，

κPin表示所述輸入流率的比例增益，

κlin表示所述輸入流率的積分增益，

κPout表示所述輸出流率的比例增益，

κlout表示所述輸出流率的積分增益，

P_z表示所述區域內的估計壓力，

P_t表示所述壓力設定點的壓力軌跡，以及

P_t-P_z表示跟蹤誤差。

4、如權利要求1所述的系統，還包括連接到所述入口比例閥的受壓流 體源和連接到所述出口比例閥的真空排出裝置。

5、如權利要求4所述的系統，還包括位于所述出口比例閥和所述真空 排出裝置之間的節流器。

6、如權利要求1所述的系統，其中所述區域具有柔性壁，并且其中所 述區域壓力估計器進一步用于根據所述導管的已知特性和所述壓力傳感器 測量的壓力來計算所述區域的估計體積，以便計算所述外殼內的估計壓力。