[發明專利]探針卡

無效

• 申請號: 200680049124.2
• 申請日: 2006-12-25
• 公開（公告）號: CN101346632A
• 公開（公告）日: 2009-01-14
• 發明（設計）人: 石川重樹;仁平崇
• 申請（專利權）人: 日本發條株式會社
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R31/28
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 李貴亮

1.一種探針卡，其對多個檢查對象與生成檢查用的信號的電路構造之間進行電連接，并且至少能夠對所述多個檢查對象的一部分同時進行所述檢查用的信號的輸入輸出，其特征在于，具有：

由導電性材料構成，與所述檢查對象接觸從而進行電信號的輸入或者輸出的多個探針；

具有對應于所述電路構造的配線圖案的基板；

一端電連接于所述多個探針的任一個，從而向所述檢查對象傳送輸入信號的多個輸入用導線；

一端電連接于所述基板，另一端與所述多個輸入用導線的任一個或者所述多個探針的任一個電連接的多個同軸電纜；

一端電連接于所述多個探針的任一個，從而傳送來自所述檢查對象的輸出信號的多個輸出用導線；以及

由導電性材料構成，設置在與相鄰的兩個所述檢查對象中的一個檢查對象連接的所述輸出用導線和與另一個檢查對象連接的所述輸入用導線相交叉的區域附近的屏蔽板。

2.如權利要求1所述的探針卡，其特征在于，

所述基板具有向所述多個檢查對象供應接地電位，并按照各檢查對象在該基板的不同區域分離形成的接地層。

3.如權利要求1所述的探針卡，其特征在于，

在與相鄰的兩個所述檢查對象中的一個檢查對象連接的所述輸出用導線和與另一個檢查對象連接的所述輸入用導線相交叉的區域附近，還具有將與所述一個檢查對象連接的所述輸出用導線聚集成束、并由導電性材料構成的屏蔽部件。

4.如權利要求3所述的探針卡，其特征在于，

所述基板具有向所述多個檢查對象供應接地電位，并按照各檢查對象在該基板的不同區域分離形成的接地層。

5.如權利要求1至4中的任一項所述的探針卡，其特征在于，

所述基板具有相對于所述多個檢查對象的輸入端子群和輸出端子群，

相對于同一所述檢查對象的輸入用端子群和輸出用端子群在該基板的不同區域分離形成。