[發(fā)明專利]激光加工裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200680048830.5
• 申請日: 2006-12-12
• 公開（公告）號(hào): CN101346207A
• 公開（公告）日: 2009-01-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 久野耕司;村松憲一;渥美一弘;筬島哲也
• 申請（專利權(quán)）人: 浜松光子學(xué)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B23K26/04
• 分類號(hào): B23K26/04;B23K26/00;B23K26/38;B23K26/40;B23K101/40;H01L21/301
• 代理公司: 北京紀(jì)凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 劉春成

1.一種激光加工裝置，在板狀的加工對(duì)象物的內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)并 照射第1激光，而在所述加工對(duì)象物內(nèi)部形成作為切斷的起點(diǎn)的改質(zhì) 區(qū)域，其特征在于，具備：

聚光用透鏡，使所述第1激光、和用于在照射有所述第1激光的 所述加工對(duì)象物的激光照射面上進(jìn)行反射的第2激光，向著所述加工 對(duì)象物聚光；

驅(qū)動(dòng)單元，使所述聚光用透鏡沿著其光軸方向動(dòng)作；

非點(diǎn)像差附加單元，對(duì)由所述激光照射面反射的所述第2激光的 反射光附加非點(diǎn)像差；

光檢測元件，對(duì)附加了非點(diǎn)像差的所述第2激光的反射光進(jìn)行分 割受光，輸出與被分割受光的所述第2激光的反射光的各個(gè)光量相對(duì) 應(yīng)的輸出值；和

控制單元，對(duì)所述驅(qū)動(dòng)單元進(jìn)行控制，以使所述第1激光的聚光 點(diǎn)位于距所述激光照射面規(guī)定距離，

所述第2激光利用所述聚光用透鏡向所述加工對(duì)象物聚光，以使 其聚光點(diǎn)位于所述聚光用透鏡的焦點(diǎn)和所述聚光用透鏡之間；

在所述聚光用透鏡的光軸方向上，有關(guān)所述加工對(duì)象物的所述激 光照射面的位置的位置信息的可取得范圍，以所述聚光用透鏡的焦點(diǎn) 為基準(zhǔn)，向所述聚光用透鏡側(cè)移動(dòng)；

所述控制單元，根據(jù)對(duì)由前述光檢測元件輸出的所述輸出值實(shí)施 基于所述輸出值的總和的除算及規(guī)定運(yùn)算而取得的運(yùn)算值，對(duì)所述驅(qū) 動(dòng)單元進(jìn)行控制。

2.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于：

所述控制單元對(duì)所述驅(qū)動(dòng)單元進(jìn)行控制，以使所述運(yùn)算值成為一 定。

3.一種激光加工裝置，利用聚光用透鏡在板狀的加工對(duì)象物的內(nèi) 部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)并照射第1激光，而在所述加工對(duì)象物內(nèi)部，沿著所述 加工對(duì)象物的切斷預(yù)定線形成作為切斷的起點(diǎn)的改質(zhì)區(qū)域，其特征在 于：

利用所述聚光用透鏡，使所述第1激光聚光在所述加工對(duì)象物內(nèi) 部，同時(shí)，使所述聚光用透鏡相對(duì)于所述加工對(duì)象物沿著所述切斷預(yù) 定線進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)；

與此相應(yīng)，使用于在照射有所述第1激光的所述加工對(duì)象物的激 光照射面上進(jìn)行反射的第2激光，利用所述聚光用透鏡向所述加工對(duì) 象物聚光，以使其聚光點(diǎn)位于所述聚光用透鏡的焦點(diǎn)和所述聚光用透 鏡之間；

在所述聚光用透鏡的光軸方向上，有關(guān)所述加工對(duì)象物的所述激 光照射面的位置的位置信息的可取得范圍，以所述聚光用透鏡的焦點(diǎn) 為基準(zhǔn)，向所述聚光用透鏡側(cè)移動(dòng)；

由非點(diǎn)像差附加單元對(duì)由所述激光照射面反射的所述第2激光的 反射光附加非點(diǎn)像差；

由光檢測元件對(duì)附加了非點(diǎn)像差的所述第2激光的反射光進(jìn)行分 割受光，輸出與被分割受光的所述第2激光的反射光的各個(gè)光量相對(duì) 應(yīng)的輸出值；

根據(jù)對(duì)所輸出的所述輸出值實(shí)施基于所述輸出值的總和的除算及 規(guī)定運(yùn)算而取得運(yùn)算值，而由驅(qū)動(dòng)單元使所述聚光用透鏡沿著其光軸 方向動(dòng)作，以使所述第1激光的聚光點(diǎn)位于距所述激光照射面規(guī)定距 離。

4.一種激光加工裝置，利用聚光用透鏡在板狀的加工對(duì)象物的內(nèi) 部對(duì)準(zhǔn)聚光點(diǎn)并照射第1激光，而在所述加工對(duì)象物內(nèi)部，沿著所述 加工對(duì)象物的切斷預(yù)定線形成作為切斷的起點(diǎn)的改質(zhì)區(qū)域，其特征在 于：

使用于在照射有所述第1激光的所述加工對(duì)象物的激光照射面上 進(jìn)行反射的第2激光，利用所述聚光用透鏡向所述加工對(duì)象物聚光， 同時(shí)，使所述聚光用透鏡相對(duì)于所述加工對(duì)象物沿著所述切斷預(yù)定線 進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，以使其聚光點(diǎn)位于所述聚光用透鏡的焦點(diǎn)和所述聚光 用透鏡之間；

在所述聚光用透鏡的光軸方向上，有關(guān)所述加工對(duì)象物的所述激 光照射面的位置的位置信息的可取得范圍，以所述聚光用透鏡的焦點(diǎn) 為基準(zhǔn)，向所述聚光用透鏡側(cè)移動(dòng)；

與此相應(yīng)，由非點(diǎn)像差附加單元對(duì)由所述激光照射面反射的所述 第2激光的反射光附加非點(diǎn)像差；

由光檢測元件對(duì)附加了非點(diǎn)像差的所述反射光進(jìn)行分割受光，輸 出與被分割受光的所述第2激光的反射光的各個(gè)光量相對(duì)應(yīng)的輸出值；

根據(jù)對(duì)所輸出的所述輸出值實(shí)施基于所述輸出值的總和的除算及 規(guī)定運(yùn)算而取得運(yùn)算值，由驅(qū)動(dòng)單元使所述聚光用透鏡沿著其光軸方 向動(dòng)作，以使所述第1激光的聚光點(diǎn)位于距所述激光照射面規(guī)定距離， 在預(yù)先取得有關(guān)所述聚光用透鏡的動(dòng)作的動(dòng)作信息后；

利用所述聚光用透鏡使所述第1激光聚光在所述加工對(duì)象物內(nèi)部， 同時(shí)，使所述聚光用透鏡相對(duì)于所述加工對(duì)象物沿著所述切斷預(yù)定線 進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)；

與此相應(yīng)，根據(jù)預(yù)先所取得的所述動(dòng)作信息，由驅(qū)動(dòng)單元使所述 聚光用透鏡動(dòng)作。