[發明專利]用于半導體設備制造裝備的延伸主機設計

有效

• 申請號: 200680048123.6
• 申請日: 2006-12-20
• 公開（公告）號: CN101341574A
• 公開（公告）日: 2009-01-07
• 發明（設計）人: M·R·賴斯
• 申請（專利權）人: 應用材料股份有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司
• 代理人: 陸嘉

1.一種半導體元件制造期間所用的主機，其包括：

側壁，界定出適于容設機械臂的中心傳送區；

數個面，形成在該側壁上，各適于耦接至處理室；以及

單個延伸面，形成在該側壁上，其可讓該主機耦接至五個全尺寸的處 理室以及單個負載鎖定室，并同時提供對該主機進行維護的進出口，其中 所述單個延伸面的長度大于所述適于耦接至處理室且不延伸的數個面，且 所述單個延伸面向適于耦接至該單個負載鎖定室的面延伸。

2.如權利要求1所述的主機，其中該單個延伸面適于增加耦接至該主 機的該單個負載鎖定室及耦接至該單個延伸面的一處理室之間的距離。

3.如權利要求2所述的主機，其中該機械臂以該機械臂的最大范圍傳 送基材進出該單個負載鎖定室。

4.如權利要求1所述的主機，其中該主機適于耦接到所述五個全尺寸 處理室，并同時提供對該主機及耦接該主機的單個負載鎖定室進行維護的 進出口。

5.一種半導體元件制造期間使用的系統，其至少包含：

主機，具有：

側壁，可界定適于容設機械臂的中心傳送區；

數個面，形成在該側壁上，各適于耦接至處理室；以及

單個延伸面，形成于該側壁上，其可讓該主機耦接到五個全尺寸 處理室，同時提供對該主機進行維護的進出口；

機械臂，設于該主機的該中心傳送區內；

單個負載鎖定室，耦接至一面；以及

一處理室，耦接至該單個延伸面；

其中該單個延伸面適于增加耦接至該主機的該單個負載鎖定室以及耦 接至該單個延伸面的該處理室之間的距離，其中所述單個延伸面的長度大 于所述適于耦接至處理室且不延伸的數個面，且所述單個延伸面向耦接至 單個負載鎖定室的面延伸。

6.如權利要求5所述的系統，其中該機械臂可以該機械臂的最大范圍 傳送基材進出該單個負載鎖定室。

7.如權利要求5所述的系統，其中該主機適于耦接到所述五個全尺寸 處理室，并同時提供對該主機及耦接至該主機的單個負載鎖定室進行維護 的進出口。

8.一種半導體元件制造期間使用的主機，其至少包括：

第一主機段，具有：

第一側壁，可界定適于容設第一主機機械臂的第一中心傳送區；

數個面，形成于該第一側壁上，各適于耦接至處理室；以及

延伸面，形成于該第一側壁上，以讓該主機可耦接到至少四個全 尺寸處理室，同時提供對該主機進行維護的進出口；以及

第二主機段，耦接至該第一主機段，其具有：

第二側壁，可界定適于容設第二主機機械臂的第二中心傳送區；

數個面，形成于該第二側壁上，各適于耦接至處理室；以及

延伸面，形成于該第二側壁上，以讓該主機耦接到至少四個全尺 寸處理室，同時提供對該主機進行維護的進出口，其中所述延伸面的長度 大于不延伸的數個面。

9.如權利要求8所述的主機，其中該第一主機段的該延伸面適于增加 耦接于該第一主機段和第二主機段之間的一通過室以及耦接至該延伸面的 處理室之間的距離。

10.如權利要求9所述的主機，其中該第一主機機械臂可以該第一主 機機械臂的最大范圍傳送基材進出該通過室。

11.如權利要求8所述的主機，其中該第二主機段的該延伸面適于增 加耦接至該第二主機段的負載鎖定室及耦接至該延伸面的處理室之間的距 離。

12.如權利要求11所述的主機，其中該第二主機機械臂可以該第二 主機機械臂的最大范圍傳送基材進出該負載鎖定室。

13.如權利要求8所述的主機，其中該主機的該第一主機段適于耦接 到至少四個全尺寸處理室，并同時提供對該主機的該第一主機段進行維護 的進出口。