[發(fā)明專利]磨粒材料和用該磨粒材料對(duì)工件平面化的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200680046368.5
• 申請(qǐng)日: 2006-10-13
• 公開（公告）號(hào): CN101370896A
• 公開（公告）日: 2009-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: A·G·赫爾勒;王浚
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司
• 主分類號(hào): C09K3/14
• 分類號(hào): C09K3/14;C09G1/02;C01F7/02
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司
• 代理人: 陳哲鋒

1.一種磨粒材料，包含：

氧化鋁顆粒，所述氧化鋁顆粒包含過渡型氧化鋁和至少5.0重量％的非晶 相，所述氧化鋁顆粒包括不小于20重量％的γ相氧化鋁，所述氧化鋁顆粒的密 度不大于3.00g/cm³。

2.如權(quán)利要求1所述的磨粒材料，其特征在于，所述過渡型氧化鋁包含γ 相氧化鋁和δ相氧化鋁中的至少一種。

3.如權(quán)利要求2所述的磨粒材料，其特征在于，所述過渡型氧化鋁包含δ 相氧化鋁。

4.如權(quán)利要求1所述的磨粒材料，其特征在于，所述過渡型氧化鋁包含θ 相氧化鋁。

5.如權(quán)利要求4所述的磨粒材料，其特征在于，所述氧化鋁顆粒包含不 小于5重量％的θ相氧化鋁。

6.如權(quán)利要求1所述的磨粒材料，其特征在于，所述氧化鋁顆粒包含不 小于10重量％的非晶相。

7.如權(quán)利要求1所述的磨粒材料，其特征在于，所述氧化鋁顆粒包含不 小于5.0重量％的非晶相和不大于40重量％的非晶相，余量的顆粒主要由過渡 型氧化鋁組成。

8.如權(quán)利要求1所述的磨粒材料，其特征在于，所述氧化鋁顆粒的比表 面積不小于100m²/g。

9.如權(quán)利要求1所述的磨粒材料，其特征在于，所述氧化鋁顆粒是小片 形，其初級(jí)長(zhǎng)寬比不小于3∶1，次級(jí)長(zhǎng)寬比不小于3∶1。

10.如權(quán)利要求1所述的磨粒材料，其特征在于，所述氧化鋁顆粒為針形， 其初級(jí)長(zhǎng)寬比不小于3∶1，次級(jí)長(zhǎng)寬比不大于3∶1。

11.如權(quán)利要求1所述的磨粒材料，其特征在于，所述氧化鋁顆粒的平均 初級(jí)粒度不大于85納米。

12.如權(quán)利要求1所述的磨粒材料，其特征在于，所述氧化鋁顆粒的平均 次級(jí)粒度不大于200納米。

13.如權(quán)利要求12所述的磨粒材料，其特征在于，所述平均次級(jí)粒度不 大于150納米。

14.如權(quán)利要求1所述的磨粒材料，其特征在于，所述磨粒材料包括漿料。

15.如權(quán)利要求14所述的磨粒材料，其特征在于，所述漿料的膠體穩(wěn)定 性按照沉降高度測(cè)定，3天后沉降高度為0.0毫米。

16.如權(quán)利要求15所述的磨粒材料，其特征在于，所述漿料的膠體穩(wěn)定 性按照沉降高度測(cè)定，6天后沉降高度為0.0毫米。

17.一種形成磨粒材料的方法，該方法包括：

提供主要包含過渡型氧化鋁的原料顆粒；

對(duì)原料顆粒進(jìn)行碾磨，形成包含過渡型氧化鋁和不小于5.0重量％的非晶 相的氧化鋁顆粒，所述氧化鋁顆粒包括不小于20重量％的γ相氧化鋁，該氧 化鋁顆粒的密度不大于3.00g/cm³。

18.如權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，所述碾磨步驟包括在pH小 于5.0的酸性溶液中進(jìn)行濕碾磨。

19.如權(quán)利要求18所述的方法，其特征在于，所述濕碾磨包括對(duì)過渡型 氧化鋁顆粒進(jìn)行碾磨至平均次級(jí)粒度不大于200納米。

20.如權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，所述方法還包括對(duì)含鋁材 料進(jìn)行煅燒，提供原料顆粒，其中所述對(duì)含鋁材料進(jìn)行煅燒的步驟包括加熱含 鋁材料加熱至一定溫度，該溫度足以使含鋁材料轉(zhuǎn)化為主要包含過渡型氧化鋁 的原料顆粒。

21.如權(quán)利要求20所述的方法，其特征在于，所述煅燒步驟在不大于1250 ℃的溫度進(jìn)行。

22.如權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：對(duì)氧化 鋁顆粒進(jìn)行干燥，形成干氧化鋁粉；將干氧化鋁粉分散在溶劑中，形成磨料漿。

23.一種對(duì)工件的導(dǎo)電金屬表面進(jìn)行拋光的方法，該方法包括：

在工件和用于拋光的壓板之間提供磨料漿，所述磨料漿包含溶劑和氧化鋁 顆粒，所述氧化鋁顆粒包含過渡型氧化鋁和不小于5重量％的非晶相，所述氧 化鋁顆粒包括不小于20重量％的γ相氧化鋁，其中氧化鋁顆粒的密度不大于 3.00g/cm³；

使壓板和工件做相對(duì)平移。