[發明專利]將前體層轉換成光伏吸收體的方法和裝置

無效

• 申請號: 200680044124.3
• 申請日: 2006-10-17
• 公開（公告）號: CN101578386A
• 公開（公告）日: 2009-11-11
• 發明（設計）人: B·巴紹爾
• 申請（專利權）人: 索羅能源公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/00;C23C16/00;C25B9/00;C25B11/00;C25B13/00;H01L21/76;H01L31/00;B05D5/12
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 杜 娟

1.一種按照預定溫度分布處理襯底的列式反應器，該反應器包 含：

襯底入口；

襯底出口；

在所述襯底入口和所述襯底出口之間的一系列室，每個室包括：

上體，

下體，

在所述上體與所述下體之間形成的間隙，其中，所述間隙具 有寬度、高度和長度，每個室的最窄寬度與最窄高度之比至少是 15，并且該系列室中的每一個的間隙與該系列室中的其它室的間隙 對準，和

溫度控制器，用于根據預定溫度分布調節所述間隙內的溫度， 以使在至少一些室的間隙內存在不同溫度；

通過該系列室的每個間隙將襯底從所述襯底入口移動到所述襯 底出口的機構；和

至少一個氣體入口，配置成將氣體輸送到相應至少一個室的間隙 中，

其中，相鄰室由緩沖區分開。

2.根據權利要求1所述的反應器，其中，至少一個室內的間隙 高度隨著它的寬度而變。

3.根據權利要求2所述的反應器，其中，至少一個室內的間隙 高度隨著它的長度而變。

4.根據權利要求1所述的反應器，其中，至少一個室內的間隙 高度隨著它的長度而變。

5.根據權利要求1所述的反應器，其中，至少一些室內的間隙 高度是不同的。

6.根據權利要求1所述的反應器，其中，每個室內的間隙高度 基本相同。

7.根據權利要求1所述的反應器，其中，所述溫度控制器控制 加熱元件和冷卻元件。

8.根據權利要求1所述的反應器，其中，該機構包括分別用于 供應和接收柔性箔狀襯底的供應輥和接收輥。

9.根據權利要求1所述的反應器，進一步包含容納該系列室和 該機構的輔助外殼。

10.根據權利要求1所述的反應器，進一步包括與用于將Se和 S中的至少一種供應給間隙的氣體入口連接的含Se氣體和含S氣體中 的至少一種。

11.根據權利要求1所述的反應器，其中，包含所述氣體入口的 至少一個室內的間隙高度高于不包含任何氣體入口的相鄰室。

12.根據權利要求1所述的反應器，其中，該系列室中的每一個 進一步包括間隙入口、間隙出口、間隙入口密封件、間隙出口密封件、 和第二機構，該第二機構使所述上體和下體在打開位置和關閉位置之 間作相對運動，以使當處在所述打開位置時，由所述第一機構移動襯 底，并且當處在所述關閉位置時，由所述間隙入口密封件和所述間隙 出口密封件密封所述間隙。

13.根據權利要求12所述的反應器，其中，至少一個氣體出口 與所述室中的一個室相聯系，并被配置成當該一個室處在所述關閉位 置時，從所述一個室的間隙中除去氣體。

14.根據權利要求12所述的反應器，其中，所述溫度控制器控 制加熱元件和冷卻元件。

15.根據權利要求12所述的反應器，其中，該機構包括分別用 于供應和接收柔性箔狀襯底的供應輥和接收輥。

16.根據權利要求12所述的反應器，進一步包含容納該系列室 和該機構的輔助外殼。

17.根據權利要求16所述的反應器，其中，該機構包括分別用 于供應和接收柔性箔狀襯底的供應輥和接收輥。

18.根據權利要求12所述的反應器，進一步包括與用于將Se 和S中的至少一種供應給間隙的氣體入口連接的含Se氣體和含S氣 體中的至少一種。