[發(fā)明專利]一種用于控制輻射源功率的系統(tǒng)和方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200680042512.8
• 申請日: 2006-11-13
• 公開（公告）號: CN101310333A
• 公開（公告）日: 2008-11-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳欣延
• 申請（專利權(quán)）人: 皇家飛利浦電子股份有限公司
• 主分類號: G11B7/125
• 分類號: G11B7/125
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 李靜嵐;劉紅

1.一種輻射源功率控制系統(tǒng)，包括：

-傳感器(FS)，其接收由輻射源(LS)生成的輻射束(LBP)的一部分并提供代表輻射源功率的模擬信號(AFS)，

-連接至傳感器(FS)的反饋網(wǎng)絡(luò)(FN)，

-連接至反饋網(wǎng)絡(luò)(FN)和輻射源(LS)的輻射源功率控制電路(LPCC)，

其中反饋網(wǎng)絡(luò)(FN)包括掃描寬度補償模塊(RCM)，包括，

-采樣模塊(SM)，基于代表輻射源功率的模擬信號(AFS)所述采樣模塊(SM)提供數(shù)字信號(DFS)，

-至少一個誤差控制信號生成器(ECSG、ECSG1、ECSG2)，其執(zhí)行振幅補償并提供至少一個數(shù)字誤差控制信號(ECS)至輻射源功率控制電路(LPCC)以便控制輻射源(LS)的功率。

2.如權(quán)利要求1所述的輻射源功率控制系統(tǒng)，其中，采樣模塊(SM)包括模擬預(yù)處理模塊(APRO)和模擬至數(shù)字的轉(zhuǎn)換器(FSADC)，采樣模塊(SM)提供代表輻射源功率的數(shù)字信號(DFS)。

3.如權(quán)利要求1所述的輻射源功率控制系統(tǒng)，其中，誤差控制信號生成器(ECSG、ECSG1、ECSG2)包括：

-積分和除法模塊(ID、ID1、ID2)，

-計算模塊(RNC、RNC1、RNC2)，

-查找表模塊(LKT、LKT1、LKT2)，

-倍增器(MU、MU1、MU2)，

其中：

-積分和除法模塊(ID、ID1、ID2)以及計算模塊(RNC、RNC1、RNC2)接收代表輻射源功率的數(shù)字信號DFS和至少一個計時信號(Tdel、Tthr)，積分和除法模塊(ID、ID1、ID2)通過累加代表輻射源功率的數(shù)字信號DFS的多個采樣確定總和，而計算模塊(RNC、RNC1、RNC2)通過在基于至少一個計時信號(Tdel、Tthr)的持續(xù)時間期間計算代表輻射源功率的數(shù)字信號(DFS)的采樣確定掃描寬度，積分和除法模塊(ID、ID1、ID2)通過將總和除以掃描寬度來計算多個采樣的平均值，

-耦合至計算模塊(RNC、RNC1、RNC2)的查找表模塊(LKT、LKT1、LKT2)確定基于掃描寬度的比例因數(shù)，

-耦合至查找表模塊(LKT、LKT1、LKT2)和積分和除法模塊(ID、ID1、ID2)的倍增器(MU1、MU2)通過將多個采樣的平均值與比例因數(shù)相乘為多個采樣計算比例值。

4.如權(quán)利要求3所述的輻射源功率控制系統(tǒng)，其中，誤差控制信號生成器(ECSG、ECSG1、ECSG2)進一步包括至少一個連接至倍增器(MU、MU1、MU2)并提供后處理的數(shù)字誤差控制信號(DSdel、DSthr)至輻射源功率控制電路(LPCC)的數(shù)字后處理模塊(PPRO1、PPRO2)。

5.如權(quán)利要求3或4所述的輻射源功率控制系統(tǒng)，其中，計時多路復(fù)用器(MT)可以被連接在倍增器(MU、MU1、MU2)和至少一個后處理模塊(PPRO1、PPRO2)之間，計時多路復(fù)用器(MT)接收增量(δ)計時信號(Tdel)和閾值計時信號(Tthr)并提供數(shù)字增量(δ)信號(DSdel)或數(shù)字的閾值信號(DSthr)至輻射源功率控制電路(LPCC)。

6.如權(quán)利要求1所述的輻射源功率控制系統(tǒng)，其中，輻射源(LS)為生成激光束(LB)的激光器二極管，并且傳感器(FS)為光學(xué)傳感器。

7.如權(quán)利要求1所述的輻射源功率控制系統(tǒng)，其中，傳感器(FS)為前向傳感轉(zhuǎn)換器，其提供代表輻射源功率的前向傳感模擬信號(AFS)。

8.一種用于控制輻射源功率的方法，包括步驟：

-傳感由輻射源(LS)生成的輻射束(LB)的一部分并提供代表輻射源功率的模擬信號(AFS)，

-采樣代表輻射源功率的模擬信號(AFS)并提供代表輻射源功率的數(shù)字信號(DFS)，

-為代表輻射源功率的數(shù)字信號的多個采樣執(zhí)行振幅補償并提供至少一個數(shù)字誤差控制信號(ECS、DSdel、DSthr)至輻射源功率控制電路(LPCC)，以便控制輻射源(LS)的功率。