[發明專利]增強型快速熱處理設備和方法

有效

• 申請號: 200680042256.2
• 申請日: 2006-06-26
• 公開（公告）號: CN101304660A
• 公開（公告）日: 2008-11-12
• 發明（設計）人: 戴夫·卡姆;邁克·克拉斯尼克;米登·巴巴洛維克;瑟吉·德茨;史蒂夫·麥科伊
• 申請（專利權）人: 馬特森技術公司
• 主分類號: A21B2/00
• 分類號: A21B2/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 葛青

1.一種用于至少一個晶片狀工件的熱處理的方法，該工件具有由外周邊緣圍繞的相對的第一和第二主要表面，該外周邊緣限定了工件的直徑，以致該第一和第二相對表面與該外周邊緣協作以限定外周邊緣區域，所述方法包括：

將工件移動到由處理室限定的室內部中；

使用加熱裝置用于發射照射能，該加熱裝置與所述室內部熱連通且與所述第一主要表面成面對面關系，以致照射能的第一部分直接入射到工件的所述第一主要表面而照射能的第二部分至少最初如此指向，以致于該第二部分將不能抵達該第一主要表面；以及

使用反射器反射所述照射能的所述第二部分的至少一些到所述工件的外側周邊區域，該反射器支撐在所述室內部，具有環形結構由此限定具有一開口寬度的中央開口，用于任何給定的測量，該開口大于所述工件的直徑，且所述反射器被布置為與所述外周邊緣成同心關系。

2.一種用于至少一個平坦工件的熱處理的設備，該工件具有由外周邊緣圍繞的相對的第一和第二主要表面，以致該相對的第一和第二主要表面與該外周邊緣協同作用以限定外周邊緣區域，所述設備包括：

處理室，限定了用于接收所述工件的室內部；

加熱裝置，與所述室內部熱連通且與所述第一主要表面成面對面關系用于發射照射能，以致照射能的第一部分直接入射到工件的所述第一主要表面而照射能的第二部分至少最初如此指向，以致于該第二部分將不能抵達該第一主要表面；以及

反射器裝置，支撐在所述室內部，具有與所述工件的外周邊緣結構互補的形狀以便于限定互補反射器結構，所述反射器裝置和所述工件相互支撐，其方式是以相互隔離關系將互補反射器結構對準所述工件的外周邊緣結構，用于使得至少部分所述照射能的第二部分被所述互補反射器結構反射，然后入射到所述工件的外周邊緣區域附近和外周邊緣區域上，且至少互補反射器結構的凸起位于包括第一主要表面的平面之上與所述外周邊緣結構互補并從所述外周邊緣結構向外隔開至少一預定距離。

3.一種用于至少一個平坦工件的熱處理的方法，該工件具有由外周邊?緣圍繞的相對的第一和第二主要表面，以致該第一和第二相對表面與該外周邊緣協同作用以限定外周邊緣區域，所述方法包括：

將工件移動到由處理室限定的室內部中；

使用加熱裝置用于發射照射能，該加熱裝置與所述室內部熱連通且與所述第一主要表面成面對面關系，以致照射能的第一部分直接入射到工件的所述第一主要表面而照射能的第二部分至少最初如此指向，以致于該第二部分將不能抵達該第一主要表面；以及

使用互補反射器結構反射所述照射能的第二部分的至少部分，隨后入射到所述工件的外周邊緣區域附近和外周邊緣區域上，該互補反射器結構形成支撐在所述室內部的反射器的一部分，并構造所述互補反射器結構為具有以相互隔離關系對準所述工件的外周邊緣結構的形狀，以致至少互補反射器結構的凸起位于包括第一主要表面的平面之上與所述外周邊緣結構互補并從所述外周邊緣結構向外隔開至少一預定距離。

4.如權利要求3所述的方法，其中所述預定距離為3mm。

5.如權利要求3所述的方法，包括將所述反射器裝置構造為基本限制照射能的第二部分的反射器吸收，以致可以基本保持反射器裝置的預照射溫度，而無需考慮所述照射能的第二部分的入射。

6.如權利要求3所述的方法，包括構造所述互補反射器結構，以致所述互補反射器結構上任意給定位置與所述工件上的最近點之間的距離不超過15mm。

7.如權利要求3所述的方法，包括構造所述反射器裝置，以致所述反射器裝置上任意給定位置與所述工件的最外側邊緣上的最近位置隔開一定距離，以致在通過所述最外側邊緣上的最近位置且至少垂直于所述第一主要表面的第一線及在反射器裝置上給定位置和工件的最外側邊緣上的最近位置之間限定的第二線之間限定的角度大于45度。

8.如權利要求7所述的方法，其中所述角度被形成為大于60度。

9.如權利要求3所述的方法，包括構造所述互補反射器結構，以形成所述反射器裝置面向所述工件的僅有的部分。

10.如權利要求3所述的方法，包括構造所述互補反射器結構，使之具有在其周圍相互隔開的多個反射器段用于至少降低入射到工件的外周邊緣區域的照射能的第二部分的所述部分的總強度。?