[發明專利]X射線管以及非破壞檢查裝置

有效

• 申請號: 200680037280.7
• 申請日: 2006-10-03
• 公開（公告）號: CN101283436A
• 公開（公告）日: 2008-10-08
• 發明（設計）人: 稻鶴務;岡田知幸
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: H01J35/18
• 分類號: H01J35/18;H01J35/06;H05G1/00
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉春成

技術領域

本發明涉及從X射線出射窗取出X射線的X射線管以及非破壞檢查裝置。

背景技術

X射線是對物體具有良好的透過性的電磁波，大多用于物體的內部構造的非破壞/非接觸觀察。X射線管通常使從電子槍出射的電子入射到標靶，產生X射線。如專利文獻1所記述，X射線管的電子槍安裝在收容作為陽極的標靶的管狀構件。從電子槍出射的電子入射到標靶，從標靶產生X射線。X射線透過設在收容標靶的管狀構件的管軸線上的X射線出射窗，照射到外部的樣品。透過樣品的X射線，作為放大透視圖像，被各種X射線圖像拍攝裝置拍攝。

專利文獻1：美國專利第5,077,771號說明書

發明內容

使用X射線的放大透視圖像的非破壞檢查，作為確認安裝在各種電子電路基板的零件的接合狀態的方法是有效的。而且，隨著電路基板的小型化，所安裝的零件高密度化，因而期望進行放大率更高的放大透視圖像的拍攝。并且，為了確認安裝在這種電路基板的焊料球的接合狀態，從傾斜規定角度的位置對焊料球進行拍攝的放大透視圖像，能夠立體地觀看焊料球，因而較合適。從這種傾斜的位置進行拍攝的放大透視圖像，能夠通過相對于X射線管相對地傾斜電路基板，進行拍攝，或者將X射線圖像拍攝裝置從X射線管的正上方偏移，進行拍攝而獲得，但在，為了提高放大透視圖像的放大率，后者較合適。

然而，為了將X射線圖像拍攝裝置從X射線管的正上方偏移，進行拍攝，必須增大從X射線管照射的X射線的照射角度，在以往的X射線管中，為了增大X射線的照射角度，必須增大X射線出射窗的直徑，當X射線出射窗的直徑變大時，將有多余的X射線從X射線管照射。于是，防止不必要的X射線的泄漏的設備變得必要，容易引起成本的上升。

本發明的目的在于，提供一種在提高從斜向對樣品照射X射線而獲得的放大透視圖像的放大率的同時，能夠防止不必要的X射線的泄漏的X射線管以及非破壞檢查裝置。

為了解決以上的問題，本發明的X射線管，包括：管狀的陽極收容部；配置在陽極收容部內的陽極；以及X射線出射窗，用于使從電子槍出射的電子入射到陽極的標靶，產生X射線，并將該X射線取出。陽極沿著陽極收容部的管軸線配置，X射線出射窗相對于陽極收容部的管軸線偏心地設置在被設置于陽極收容部的端部的封塞部。

該X射線管中，從相對于陽極收容部的管軸線偏心地設置的X射線出射窗取出X射線。因此，即使不傾斜作為樣品的電路基板等，也能夠從斜向對樣品照射X射線，并能夠提高從傾斜對樣品拍攝的放大透視圖像的放大率。另外，該X射線管中，通過使X射線出射窗相對于陽極收容部的管軸線偏心，從而使利用X射線攝像機等的X射線圖像拍攝裝置的斜向觀察最佳化，由于只要X射線出射窗達到斜向觀察必須的足夠的大小即可，因而即使X射線出射窗小，也能夠防止多余的X射線的泄漏。而且，由于當X射線出射窗變小時，提高X射線出射窗的強度的必要性降低，能夠減薄X射線出射窗，并能夠提高X射線的透過率，因而可以進行鮮明的放大透視圖像的拍攝。而且，當X射線出射窗變小變薄時，異物混入至X射線出射窗的窗材的比率降低，成品率提升，能夠降低制造成本。

另外，優選電子槍被安裝于設在陽極收容部的管軸線的周圍的周壁，X射線出射窗相對于管軸線向電子槍側偏心。如此，當使X射線出射窗向電子槍側偏心時，能夠從X射線出射窗取出照射線量大的X射線，容易進行鮮明的放大透視圖像的拍攝。

另外，優選在封塞部設有多個X射線出射窗。通過設置多個X射線出射窗，可以從多個不同的斜向對樣品拍攝放大透視圖像，在進行樣品的檢查時，可以從更優選的方向拍攝放大透視圖像。

另外，優選電子槍被收納于固定在陽極收容部上的管狀的電子槍收容部，電子槍收容部的管軸線與陽極收容部的管軸線正交，X射線出射窗在從包含陽極收容部的管軸線和電子槍收容部的管軸線的面偏移的位置具有中心。如此，當X射線出射窗的中心位于從包含陽極收容部的管軸線和電子槍收容部的管軸線的面偏移的位置時，例如，即使作為樣品的電路基板傾斜以接近X射線出射窗，電子槍收容部也難以成為妨礙。因此，作為樣品的電路基板容易接近X射線出射窗，提高放大透視圖像的放大率變得容易。