[發(fā)明專利]垂直探針卡和空氣冷卻探針頭系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200680035220.1
• 申請(qǐng)日: 2006-07-25
• 公開（公告）號(hào): CN101273275A
• 公開（公告）日: 2008-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: M·L·安德森;E·A·麥勞德;S·莫斯塔謝德;M·A·卡索洛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 夸利陶公司
• 主分類號(hào): G01R31/02
• 分類號(hào): G01R31/02
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 溫大鵬

1、一種探針卡，通常被安裝成垂直于受測(cè)裝置，包括：

a)印刷電路板，

b)尖端組件，包括在電路板一端上用于接合受測(cè)裝置的多個(gè)探針尖端，

c)在電路板的相對(duì)端上的多個(gè)電觸點(diǎn)，

d)電路板上的導(dǎo)電圖形，用于將電路板一端上的尖端電連接到電路板相對(duì)端上的電觸點(diǎn)，和

e)緊固件，用于將受測(cè)裝置上方的支承件與大致垂直對(duì)準(zhǔn)了受測(cè)裝置的印刷電路板相接合。

2、如權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，受測(cè)裝置是半導(dǎo)體晶片。

3、如權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，尖端組件包括用于多個(gè)尖端的陶瓷支承件。

4、如權(quán)利要求3所述的探針卡，進(jìn)一步包括：

f)多個(gè)貫穿電路板以促進(jìn)空氣流動(dòng)的開口。

5、如權(quán)利要求4所述的探針卡，其特征在于，緊固件包括與支承件中的插口相匹配的突起連接件。

6、如權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，緊固件包括與支承件中的插口相匹配的突起連接件。

7、一種探針頭，通常被安裝到受測(cè)裝置上方，包括：

a)印刷電路板，

b)尖端組件，包括在電路板一端上用于接合受測(cè)裝置的多個(gè)探針尖端，

c)在電路板的相對(duì)端上的多個(gè)電觸點(diǎn)，

d)電路板上的導(dǎo)電圖形，用于將電路板一端上的尖端電連接到電路板相對(duì)端上的電觸點(diǎn)，和

e)緊固件，用于將受測(cè)裝置上方的支承件與大致垂直對(duì)準(zhǔn)了受測(cè)裝置的印刷電路板相接合，和

f)安裝組件，其上支撐了印刷電路板，并包括用于接合第一緊固件的第二緊固件。

8、如權(quán)利要求7所述的探針頭，其特征在于，安裝組件包括用于可支撐地接合軌道支撐結(jié)構(gòu)的裝置。

9、如權(quán)利要求8所述的探針頭，其特征在于，安裝組件及印刷電路板包括若干開口以促進(jìn)來自軌道支撐結(jié)構(gòu)的冷空氣的流動(dòng)。

10、如權(quán)利要求9所述的探針頭，其特征在于，安裝組件包括用于手動(dòng)調(diào)節(jié)印刷電路板在安裝組件上的定位的裝置。

11、如權(quán)利要求10所述的探針頭，其特征在于，安裝組件包括：用于接收印刷電路板的第一支撐框架；用于第一支撐框架的第二支撐框架且其允許第一支撐框架沿一軸線的運(yùn)動(dòng)；和用于第二支撐框架的第三支撐框架且其允許第二支撐框架沿第二及第三運(yùn)動(dòng)軸的運(yùn)動(dòng)；以及用于幫助沿該三軸線運(yùn)動(dòng)的手動(dòng)操作旋鈕。

12、如權(quán)利要求1所述的探針頭，其特征在于，支撐框架包括若干開口用于空氣流動(dòng)。

13、一種強(qiáng)制空氣冷卻探針頭組件，用于在加熱的環(huán)境中，將探針卡安裝為在受測(cè)裝置之上并與之大致垂直，包括：

a)探針頭，包括印刷電路板，在印刷電路板一端上的尖端組件，在印刷電路板相對(duì)端上的多個(gè)觸點(diǎn)，以及將尖端組件與多個(gè)觸點(diǎn)互連的導(dǎo)電圖形，和

b)軌道組件，用于將探針頭支撐到加熱的測(cè)試臺(tái)之上，該軌道組件包括用于空氣流動(dòng)的至少一個(gè)通道和用于將空氣導(dǎo)向探針頭的若干開口，由此來自加熱測(cè)試臺(tái)的熱空氣的對(duì)流可以被擾亂和冷卻。

14、如權(quán)利要求13所述的強(qiáng)制空氣冷卻探針頭組件，進(jìn)一步包括由軌道組件所支撐的、并耦接到多個(gè)觸點(diǎn)的柔性電纜。

15、如權(quán)利要求14所述的強(qiáng)制空氣冷卻探針頭組件，其特征在于，探針頭進(jìn)一步包括用于調(diào)節(jié)印刷電路板位置的手動(dòng)操作的旋鈕，這些旋鈕被空氣流動(dòng)所冷卻。

16、如權(quán)利要求15所述的強(qiáng)制空氣冷卻探針頭組件，其特征在于，探針頭進(jìn)一步包括：用于接收印刷電路板的第一支撐框架；用于第一支撐框架的第二支撐框架且其允許第一支撐框架沿一軸線的運(yùn)動(dòng)；用于第二支撐框架的第三支撐框架且其允許第二支撐框架沿第二和第三運(yùn)動(dòng)軸線的運(yùn)動(dòng)；以及用于幫助沿該三個(gè)軸線運(yùn)動(dòng)的手動(dòng)操作旋鈕。

17、如權(quán)利要求16所述的強(qiáng)制空氣冷卻探針頭組件，其特征在于，支撐框架包括用于空氣流動(dòng)的多個(gè)開口。

18、如權(quán)利要求17所述的強(qiáng)制空氣冷卻探針頭組件，其特征在于，軌道組件內(nèi)的若干開口將空氣導(dǎo)向支撐框架及其中的開口，以促進(jìn)空氣流動(dòng)。