[發明專利]流體控制裝置

有效

• 申請號: 200680033313.0
• 申請日: 2006-07-21
• 公開（公告）號: CN101263334A
• 公開（公告）日: 2008-09-10
• 發明（設計）人: 德田伊知郎;山路道雄;筱原努;坪田憲士
• 申請（專利權）人: 株式會社富士金
• 主分類號: F16L41/02
• 分類號: F16L41/02;F15B11/00;F16K27/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所
• 代理人: 蘇娟

技術領域

本發明涉及一種在半導體制造裝置等中使用的流體控制裝置，具體地說是以在保養檢修時能夠單獨地在上方取出流體控制器的方式組裝成的集成化流體控制裝置。

在本說明書中，關于上下方向，將圖1中的上下稱為上下。該上下方向是為了便于說明而采用的說法，有時也將前后顛倒過來、或是使上下方向變為左右方向來使用。

背景技術

作為在半導體制造裝置中使用的流體控制裝置，在專利文獻1中公開了以下發明：一條管線由配置在上層的多個流體控制器和配置在下層的多個接頭部件形成。

在這種流體控制裝置中，作為流體控制器，使用具有兩個端口的和具有三個端口的；作為接頭部件，使用具有兩個開口的和具有一個開口的，具有兩個端口的流體控制器橫跨具有兩個開口的兩個接頭部件而配置，具有三個端口的流體控制器橫跨具有兩個開口的兩個接頭部件而配置，并且，在這兩個接頭部件之間配置有具有一個開口并構成管線間連接機構的接頭部件。構成密封部的密封墊圈被夾設于流體控制器的通路與接頭部件的通路之間的對接部，各個流體控制器在每個密封部中使用兩根螺栓，所以，具有兩個端口的流體控制器由四根螺栓安裝，具有三個端口的流體控制機器由六根螺栓安裝。

專利文獻1：日本特開2003-322127號公報。

根據上述專利文獻1的流體控制裝置，各個流體控制器能夠不通過管連接而實現集成化，但是還在尋求對這種流體控制裝置的進一步小型化。小型化可以通過減小螺栓直徑和通路直徑的方式實現，但若減小螺栓直徑，就會有強度和推力不足的問題；若減小通路直徑，就會有流量被限制的問題。

發明內容

本發明目的是提供一種能夠在不減小螺栓直徑和通路直徑的情況下實現小型化的流體控制裝置。

本發明的流體控制裝置，其管線由配置在上層的多個流體控制器和配置在下層并將這些流體控制器連接起來的多個接頭部件構成，上述管線并列地配置，規定的管線的流路之間通過管線間連接機構連接，其特征在于，流體控制器具有在管線方向排列的入口端口和出口端口、以及在管線方向上位于上述入口端口和開口端口中間的管線間連接用端口，上述流體控制器橫跨在一對接頭部件上而被支承，在兩個接頭部件的相對部分的上表面分別形成有臺階，構成管線間連接機構的管線間連接用通路形成部件橫跨在上述接頭部件的臺階上而被支承，上述管線間連接用通路形成部件具有與流體控制器的管線間連接用端口連通的向上開口通路。

作為配置在上層的流體控制器，有質量流量控制器、開閉閥、調節器、各種閥、過濾器、通路塊和各種接頭等，配置在下層的接頭部件是通過在長方體塊上形成V字形、U字形、L字形等通路而成的。管線間連接用通路形成部件以上表面與接頭部件的上表面齊平的方式配置在下層。

優選通過緊固用于將流體控制器固定在接頭部件上的螺紋部件，將管線間連接用通路形成部件夾持在流體控制器與接頭部件之間。這樣，與以往的管線間連接用通路形成部件通過兩根螺栓(螺紋部件)與流體控制器連接的情況相比，能夠減少這種螺栓。

優選管線間連接用通路形成部件由T型通路形成部件和L型通路形成部件構成，并通過在兩個L型通路形成部件之間夾設至少一個T型通路形成部件而構成管線間連接機構，上述T型通路形成部件具有在與管線正交的方向的兩端開口且在上方也開口的T字形通路，上述L型通路形成部件具有與管線正交的方向的一端被封閉而在另一端和上方開口的L字形通路。

各個管線間連接用通路形成部件，例如是在圓筒體上形成由接頭部件的臺階支承的截面為長方形的凸緣部而成的，其向上開口通路以貫通凸緣部的方式設置。在該開口部上形成有對用于構成密封部的密封墊圈進行擠壓用的環狀突起。

例如，具有管線間連接用端口的流體控制器是具有隔著管線間連接用端口在管線方向上排列的入口端口和出口端口的開閉閥，并且在支承該流體控制器的相鄰的接頭部件中的一方形成有與入口端口相通的通路，在另一方形成有與出口端口相通的通路，開閉閥的入口端口與管線間連接用端口始終連通。

發明效果

根據本發明的流體控制裝置，由于構成管線間連接機構的通路形成部件橫跨在形成于接頭部件上的臺階上而設置，所以能夠在不增加管線方向的長度的情況下設置管線間連接機構，從而能夠實現小型化。

附圖說明

圖1是表示本發明的流體控制裝置的第一實施方式的縱剖視圖。

圖2是第一實施方式的俯視圖。

圖3是配置在下層的接頭部件的俯視圖。

圖4是表示管線間連接用通路形成部件的一個例子的圖。