[發明專利]裝載端口模塊

有效

• 申請號: 200680033266.X
• 申請日: 2006-07-10
• 公開（公告）號: CN101511713A
• 公開（公告）日: 2009-08-19
• 發明（設計）人: D·A·哈爾;G·L·辛德列德克;M·W·科亞迪;M·科羅利奧;M·斯皮納佐拉
• 申請（專利權）人: 布魯克斯自動化公司
• 主分類號: B65H1/00
• 分類號: B65H1/00;C23F1/00;H01L21/607;C23C16/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 原紹輝;黃力行

技術領域

本發明涉及基片處理裝備，并且更特別地涉及用于基片處理裝備的 改進的裝載端口模塊。

背景技術

消費者對于日益便宜的電子設備的持續的需求迫使設備的制造商 改進效率。事實上，在當前市場上，許多設備，并且在更大的程度上設 備中使用的電子和半導體部件已經變成日用品。對于電子和半導體設備 的制造商增加效率的希望在全部階段顯現，但是特別顯著地顯現在制造 設施或工廠的設計、構造、和操作，和工廠內使用的基片處理裝備中。

發明內容

根據本發明的一個示例性的實施例，提供了基片裝載設備。基片裝 載設備包括框架、盒支撐件、和用戶接口。框架適用于將設備連接到基 片處理裝備。框架具有傳送開口，基片通過該傳送開口在設備和處理裝 備之間傳送。盒支撐件連接到框架以保持至少一個基片保持盒。用戶接 口設置為用于輸入信息。用戶接口安裝到框架，使得用戶接口與框架集 成。

根據本發明的另一個示例性的實施例，提供了基片裝載設備。基片 裝載設備包括框架、盒支撐件、和顯示器。框架適用于將設備連接到基 片處理裝備。框架具有傳送開口，基片通過該傳送開口在設備和處理裝 備之間傳送。盒連接到框架以保持至少一個基片保持盒。顯示器設置為 用于顯示與設備的預先確定的特性相關的信息。顯示器能夠用作圖形用 戶接口。顯示器能夠與框架集成以形成能夠作為單元制造并且然后能夠 作為單元從處理裝備移除的組件。

根據本發明的另一個示例性的實施例，提供了基片裝載設備。基片 裝載設備包括框架和基片傳送容器支撐件。框架適用于將設備連接到基 片處理裝備。框架具有傳送開口，基片通過該傳送開口在設備和處理裝 備之間傳送。基片傳送容器支撐件連接到框架以保持至少一個基片傳送 容器。傳送容器支撐件包括蓋、至少一個檢測器、和構件。蓋覆蓋支撐 件的至少一部分，至少一個基片傳送容器安置在該部分上。蓋具有彈性 地柔性的區段。至少一個檢測器連接到蓋以檢測支撐件上的至少一個傳 送容器的存在。構件連接到蓋的柔性的區段以與柔性的區段作為單元運 動。構件與檢測器合作，導致檢測器檢測支撐件上的傳送容器的存在。

根據本發明的再一個示例性的實施例，提供了基片裝載設備。基片 裝載設備包括框架和基片傳送容器支撐件。框架適用于將設備連接到基 片處理裝備。框架具有傳送開口，基片通過該傳送開口在設備和處理裝 備之間傳送。基片傳送容器支撐件連接到框架以保持至少一個基片傳送 容器。支撐件包括蓋和至少一個檢測器。蓋覆蓋支撐件的至少一部分， 至少一個基片傳送容器安置在該部分上。至少一個檢測器連接到蓋以檢 測何時至少一個傳送容器在支撐件上。蓋為單一的構造并且具有彈性地 柔性的突出部。檢測器包括安裝到突出部的用于用檢測器實現對支撐件 上的至少一個傳送容器的檢測的構件。

根據本發明的再一個示例性的實施例，提供了基片裝載設備。設備 包括框架和傳送容器往復移送裝置。框架適用于將設備連接到基片處理 裝備。框架具有傳送開口，基片通過該傳送開口在設備和處理裝備之間 傳送。傳送容器往復移送裝置適用于保持基片傳送容器并且可運動地連 接到框架。往復移送裝置能夠在第一終端位置和第二終端位置之間相對 于框架運動。第二終端位置是可變的，以當通過往復移送裝置將不同的 傳送容器傳送到第二終端位置時，在往復移送裝置上的傳送容器的表面 和框架表面之間維持預先確定的間隙。

根據本發明的再一個示例性的實施例，提供了基片裝載設備。設備 包括框架、傳送容器往復移送裝置、和傳感器。框架適用于將設備連接 到基片處理裝備。框架具有傳送開口，基片通過該傳送開口在設備和處 理裝備之間傳送。傳送容器往復移送裝置適用于保持基片傳送容器并且 可運動地連接到框架。往復移送裝置能夠在第一終端位置和第二終端位 置之間相對于框架運動。傳感器連接到框架以當通過往復移送裝置運動 傳送容器時遠程地感測傳送容器的特征并且確定特征相對于框架的位 置。