[發明專利]感光性樹脂組合物及感光性組件

無效

• 申請號: 200680031281.0
• 申請日: 2006-07-19
• 公開（公告）號: CN101253449A
• 公開（公告）日: 2008-08-27
• 發明（設計）人: 澤邊賢;野尻剛
• 申請（專利權）人: 日立化成工業株式會社
• 主分類號: G03F7/023
• 分類號: G03F7/023;G03F7/004;G03F7/022;H01L21/027
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司
• 代理人: 鐘晶

1.一種感光性組合物，其特征為，含有(a)由酚醛清漆型酚樹脂的酚式羥基與多元酸酐反應所得的化合物，與(b)1，2-重氮醌化合物。

2.如權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(a)成分在分子內至少具有1個下述式(A)所示的2價的基，

[化1]

式(A)中，R為羧酸酐殘基。

3.如權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(b)成分為具有羥基及/或胺基的有機化合物與具有磺基及/或磺酰氯基的1，2-重氮醌化合物反應所得的化合物。

4.如權利要求3所述的感光性樹脂組合物，其中，所述具有羥基及/或胺基的有機化合物為下述式(1)～(3)中任一所示的化合物，

[化2]

[化3]

[化4]

式(1)～(3)中，R¹、R²、R³、R⁴、R⁵、R⁶、R⁷、R⁸、R⁹、R¹⁰、R¹¹及R¹²分別獨立為氫原子、取代或未取代的碳原子數1～5的烷基、或取代或未取代的碳原子數1～5的烷氧基，X為單鍵、氧原子或亞苯基。

5.如權利要求1至4中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(a)成分的酸價為30～150mgKOH/g。

6.如權利要求1至5中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，相對于所述(a)成分及所述(b)成分的總量100質量份，所述(a)成分的添加比例為50～95質量份，所述(b)成分的添加比例為5～50質量份。

7.一種感光性組件，其特征為，具備支撐體與在該支撐體上所形成的由權利要求1至6中任一項所述的感光性樹脂組合物構成的感光層。