[發明專利]用于干涉測量檢驗物的光學性能的方法以及用于實施該方法的適當裝置

有效

• 申請號: 200680031134.3
• 申請日: 2006-07-20
• 公開（公告）號: CN101283259A
• 公開（公告）日: 2008-10-08
• 發明（設計）人: D·舍恩費爾德;T·羅伊特爾
• 申請（專利權）人: 赫羅伊斯石英玻璃股份有限兩合公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 盧江;魏軍

1.一種用于干涉測量檢驗物(1)待測量的測量范圍的光學性能的方法，該檢驗物由透明材料組成并帶有兩個彼此相對的主平面，包括下列方法步驟：

(a)將檢驗物(1)布置在干涉儀的測量光程中，使干涉儀的測量光束(4)穿過檢驗物(1)在測量范圍(CA)的第一子平面中的主平面，并且進行第一干涉測量以獲得第一組測量數據，

(b)將檢驗物(1)布置在所述測量光程中，使測量光束穿過檢驗物(1)在測量范圍(CA)的第二子平面中的主平面，該第二子平面與第一子平面是錯位布置的并與該第一子平面在重疊范圍重疊，并且進行至少一個第二干涉測量以獲得第二組測量數據，

(c)為產生所述測量范圍上的總干涉圖，在應用從重疊范圍得到的冗余信息的情況下，調整第一和第二組測量數據，

其特征在于，測量范圍(CA)完全被由一種浸漬液體(8)構成的膜覆蓋，該膜形成在檢驗物(1)的主平面與由透明材料組成的定位體(6；7)之間。

2.如權利要求1的方法，其特征在于，檢驗物(1)具有兩個基本上平整的主平面。

3.如權利要求1或2之一的方法，其特征在于，定位體是以定位板(6；7)的形式設計的。

4.如權利要求3的方法，其特征在于，定位板(6；7)具有矩形形狀。

5.如上述權利要求之一的方法，其特征在于，定位體(6；7)在各個側面都突出于測量范圍(CA)至少20mm。

6.如上述權利要求之一的方法，其特征在于，定位體(6；7)在各個側面都突出于檢驗物(1)至少20mm。

7.如上述權利要求之一的方法，其特征在于，為了夾持檢驗物(1)和定位體(6；7)而設置夾持裝置(11；12)，該夾持裝置可借助于具有電傳動裝置的傳送系統(13)在垂直于測量光束(4)的方向上移動。

8.如權利要求7的方法，其特征在于，夾持裝置(11；12)布置在干涉儀箱之內并可借助于所述傳送系統(13)移動到這個干涉儀箱之外。

9.如權利要求7或8的方法，其特征在于，傳送系統(13)的定位精確度至少比干涉儀的空間分辨率好5倍。

10.如上述權利要求之一的方法，其特征在于，檢驗物材料的待測量的光學性能包括折射率的均勻性和/或在測量范圍中的應力雙折射。

11.如上述權利要求之一的方法，其特征在于，檢驗物(1)和定位體(6；7)的透明材料是摻雜的或未摻雜的石英玻璃。

12.一種用于測量檢驗物(1)在工作范圍(CA)的光學性能的裝置，該檢驗物由透明材料組成并具有兩個彼此相對的主平面，所述裝置帶有

(a)用于檢驗物(1)的夾持裝置(11；12)，

(b)干涉儀，該干涉儀適合于將測量光束對準到檢驗物(1)的指定的測量范圍(CA)的子平面上并測量該子平面的子干涉圖，

(c)傳送系統(13)，檢驗物(1)借助于該傳送系統可在垂直于測量光束的方向上移動，致使可在大量將測量范圍(CA)完全覆蓋的子平面上進行測量，其中每個子平面與相鄰的子平面至少部分在重疊范圍重疊，和

(d)控制單元，該控制單元控制干涉儀和傳送系統(13)以及在子干涉圖的基礎上確定被檢驗物(1)透射的波前形狀，其中還將在重疊范圍確定的測量數據應用于使得子干涉圖相互匹配，

其特征在于，由透明材料組成的定位體(6；7)緊靠在檢驗物(1)的主平面上，這些定位體完全覆蓋測量范圍(CA)，其中在定位體(6；7)與檢驗物(1)的主平面之間形成由一種浸漬液體(8)構成的膜。

13.如權利要求12的裝置，其特征在于，檢驗物(1)具有兩個基本上平整的主平面。

14.如權利要求12或13的裝置，其特征在于，定位體是以定位板(6；7)的形式設計的。

15.如權利要求14的裝置，其特征在于，定位板(6；7)具有矩形形狀。

16.如權利要求12至15之一的裝置，其特征在于，定位體(6；7)在各個側面都突出于測量范圍(CA)至少20mm。

17.如權利要求12至16之一的裝置，其特征在于，定位體(6；7)在各個側面都突出于檢驗物(1)至少20mm。