[發明專利]傳送容器

無效

• 申請號: 200680030728.2
• 申請日: 2006-07-31
• 公開（公告）號: CN101263590A
• 公開（公告）日: 2008-09-10
• 發明（設計）人: 丹尼爾·小耶爾法瑞;特洛伊·B·史考金斯;羅瑟·J·霍姆斯
• 申請（專利權）人: 恩特格林斯公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司
• 代理人: 許靜

1.一種用于傳送一物品的傳送容器，其特征在于，包含有：

一外殼；

包含有一凈化材料的一凈化器，該凈化器連結至該外殼，該凈化器設置為用來將流入該外殼內的流體凈化；以及

與該外殼相連結的一流體推進器，其中，該流體推進器是一風扇、一壓縮機，或一加壓流體供應來源，并且將流體推進經過該凈化器和流入該外殼內。

2.如權利要求1所述的傳送容器，其特征在于，所述流體推進器是一風扇。

3.如權利要求1所述的傳送容器，其特征在于，所述外殼是一非密封式外殼。

4.如權利要求3所述的傳送容器，其特征在于，所述風扇和凈化器被設置為用來推進一氣體進入該非密封式外殼，該氣體具有的污染物濃度不超過十億分之一百。

5.如權利要求1所述的傳送容器，其特征在于，更包含有：

一包括該外殼的晶圓傳送盒。

6.如權利要求1所述的傳送容器，其特征在于，所述凈化材料被容納于一可更換式筒具內。

7.如權利要求1所述的傳送容器，其特征在于，更包含有：

一能量來源，以驅動該流體推進機械，該能量來源連結至該外殼。

8.如權利要求7所述的傳送容器，其特征在于，所述能量來源包括一電池、一壓縮氣體來源、一太陽能電池和一燃料電池的至少其中一種。

9.如權利要求8所述的傳送容器，其特征在于，所述能量來源是一燃料電池，該傳送容器更包含有：

一被連結至該外殼的可更換式燃料筒具。

10.如權利要求9所述的傳送容器，其特征在于，所述能量來源是一電池，該傳送容器更包含有：

一用于將該電池充電的風扇，該風扇是由一壓縮氣體來源所驅動。

11.如權利要求7所述的傳送容器，其特征在于，所述能量來源具有能夠操作該風扇至少大約24小時的能力。

12.一種用于傳送一物品的傳送容器，其特征在于，包含有：

一外殼；以及

包含有一凈化材料的一凈化器，該凈化器連結至該外殼，該凈化器被設置為用來將流入該外殼內的流體凈化，該凈化材料被容納于一可更換式筒具內。

13.如權利要求12所述的傳送容器，其特征在于，所述外殼是一非密封式外殼，且該凈化器被設置為用來將流入該非密封式外殼內的流體凈化到污染物濃度不超過十億分之一百。

14.一種用于傳送一物品的傳送容器，其特征在于，包含有：

一外殼；以及

包含有一凈化材料的一凈化器，該凈化器連結至該外殼，該凈化器被設置為用來將流入該外殼內的流體凈化，該凈化器更可被設置成為多個過濾床，該些過濾床可以被設置成僅有一個過濾床將流入該外殼內的流體凈化。

15.如權利要求14所述的傳送容器，其特征在于，所述該些過濾床可以被設置成僅有一個過濾床將流入該外殼內的流體凈化，同時，至少另一過濾床被再生。

16.如權利要求14所述的傳送容器，其特征在于，所述該些過濾床被設置成使得用于每一個過濾床的該凈化材料被容納于一可移除式筒具內。

17.如權利要求14所述的傳送容器，其特征在于，所述外殼是一非密封式外殼，且至少一個過濾床被設置為用來將流入該非密封式外殼內的流體凈化到污染物濃度不超過十億分之一百。

18.如權利要求1所述的傳送容器，其特征在于，更包含有一靜電放電器。

19.一種用于傳送一物品的傳送容器，其特征在于，包含有：

一外殼；

包含有一凈化材料的一凈化器，該凈化器連結至該外殼，該凈化器被設置為用來將流入該外殼內的流體凈化；以及與該外殼相連結的一流體推進機構，用以推進流體經過該凈化器和流入該外殼內。