[發(fā)明專利]具有經(jīng)過改進(jìn)的真空饋通的磁懸浮軸承裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200680030408.7 | 申請(qǐng)日： | 2006-08-18 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101243263A | 公開（公告）日： | 2008-08-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 菲利普·布勒;勒內(nèi)·拉爾索納 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 梅科斯特拉克斯勒股份公司 |
| 主分類號(hào)： | F16C32/04 | 分類號(hào)： | F16C32/04;F16J15/06;F04D19/04;H01R13/52 |
| 代理公司： | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 王艷江;張文 |
| 地址： | 瑞士溫*** | 國(guó)省代碼： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 具有 經(jīng)過 改進(jìn) 真空 磁懸浮 軸承 裝置 | ||
1.一種磁懸浮軸承裝置(1)，用于支撐轉(zhuǎn)子軸(120)以便其繞轉(zhuǎn)動(dòng)軸線(123)轉(zhuǎn)動(dòng)磁懸浮軸承，所述磁懸浮軸承裝置包括：
-外殼(10)，其具有內(nèi)部和外部；
-至少一個(gè)主動(dòng)磁軸承元件(80、90、100、110)，其設(shè)置在所述外殼的內(nèi)部；以及
-饋通(30)，其用于在所述外殼的內(nèi)部和外部之間提供多個(gè)電連接，
其特征在于，所述饋通(30)包括：大體上扁平的連接元件(31)，其具有連接所述內(nèi)部和所述外部且大體上設(shè)置在共同平面中的多個(gè)電導(dǎo)體，所述連接元件(31)延伸穿過所述外殼(10)的壁；以及密封裝置(32、33)，其用于以氣密方式密封所述連接元件(31)與所述外殼(10)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁懸浮軸承裝置(1)，其特征在于，所述連接元件(31)是剛性印刷電路板、柔性印刷電路板或剛?cè)嵊∷㈦娐钒濉?/p>
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的磁懸浮軸承裝置(1)，其特征在于，所述連接元件(31)沿所述外殼(10)的圓周整個(gè)橫截所述外殼(10)的壁。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的磁懸浮軸承裝置(1)，其特征在于，所述連接元件(31)沿大體上垂直于所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸線(123)的方向延伸。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的磁懸浮軸承裝置(1)，其特征在于，所述連接元件具有用于容納所述轉(zhuǎn)子軸(120)的孔口(36)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的磁懸浮軸承裝置(1)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)子軸(120)承載具有一直徑的止推盤(121)，并且所述連接元件(31)的所述孔口(36)的直徑大于所述止推盤(121)的直徑。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的磁懸浮軸承裝置(1)，其特征在于，所述連接元件(31)沿所述外殼(10)的一個(gè)側(cè)面以大體上平行于該轉(zhuǎn)子軸線(123)的方式安裝。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的磁懸浮軸承裝置(1)，其特征在于，所述連接元件(31)在所述外殼(10)的內(nèi)部和外部之間形成多個(gè)在空間上分開的電饋通。
9.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的磁懸浮軸承裝置，其特征在于，所述連接元件具有以氣密方式涂敷的外周和/或內(nèi)周。
10.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的磁懸浮軸承裝置(1)，其特征在于，所述磁懸浮軸承裝置包括傳感器板(40)，所述傳感器板(40)包括至少一個(gè)用于檢測(cè)所述轉(zhuǎn)子軸(120)的位移和/或轉(zhuǎn)動(dòng)狀態(tài)的傳感器，所述傳感器板(40)借助于橋接所述饋通(30)和所述傳感器板(40)之間的軸向間隙的連接器(35)直接電連接到所述饋通(30)。
11.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的磁懸浮軸承裝置(1)，其特征在于，所述磁懸浮軸承裝置包括在所述外殼(10)的內(nèi)部連接到所述饋通(30)的至少一根扁平帶狀線纜(51)或柔性印刷電路。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的磁懸浮軸承裝置(1)，其特征在于，所述磁懸浮軸承裝置包括連接到所述扁平帶狀線纜(51)或柔性印刷電路的分配板(50)，所述分配板(50)垂直于所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸線(123)延伸，所述分配板(50)具有用于容納所述轉(zhuǎn)子軸(120)的孔口并且包括用于分配由所述扁平帶狀線纜(51)或柔性印刷電路所傳送的信號(hào)的多個(gè)電導(dǎo)體。
13.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的磁懸浮軸承裝置(1)，其特征在于，所述連接元件包括第一段、第二段和第三段，所述第一段大體上呈平面狀并且在所述外殼的內(nèi)部和外部之間延伸，所述第二段是柔性的并且具有至少一個(gè)大致彎曲的部分，所述第三段大體上呈平面狀并且構(gòu)成包括用于分配信號(hào)的多個(gè)電導(dǎo)體的分配板。
14.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的磁懸浮軸承裝置(1)，其特征在于，所述分配板(50)包括用于檢測(cè)所述轉(zhuǎn)子軸(120)的位移的位移傳感器。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的磁懸浮軸承裝置(1)，其特征在于，所述徑向位移傳感器包括多個(gè)感應(yīng)元件，所述多個(gè)感應(yīng)元件為位于所述分配板(50)的至少一個(gè)導(dǎo)電層內(nèi)的印刷線圈。
16.一種真空泵，特別是渦輪分子泵，包括根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的磁懸浮軸承裝置。
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F16C 軸；軟軸；在撓性護(hù)套中傳遞運(yùn)動(dòng)的機(jī)械裝置；曲軸機(jī)構(gòu)的元件；樞軸；樞軸連接；除傳動(dòng)裝置、聯(lián)軸器、離合器或制動(dòng)器元件以外的轉(zhuǎn)動(dòng)工程元件；軸承
F16C32-00 不包含在其他類目中的軸承
F16C32-02 .刀口軸承
F16C32-04 .采用磁力或電支撐裝置
F16C32-06 .帶有至少在很大程度上不是由軸的運(yùn)動(dòng)形成的流體墊所支承的運(yùn)動(dòng)元件，如流體靜力氣墊軸承
