[發(fā)明專利]用于超聲馬達(dá)的壓電執(zhí)行單元

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200680030007.1
• 申請(qǐng)日: 2006-07-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101288185A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-10-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沃拉迪米爾·韋什紐斯基;阿里克斯·韋什紐斯基
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 物理設(shè)備（PI）兩合公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L41/09
• 分類(lèi)號(hào): H01L41/09;H01L41/04;H01L41/083;H02N2/00
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 趙冰

1、尤其用于超聲馬達(dá)的壓電執(zhí)行單元，其包括聲波諧振腔，其特征在于，

所述聲波諧振腔基本上被構(gòu)造為帶有兩個(gè)主表面、兩個(gè)側(cè)表面以及兩個(gè)端面的矩形壓電板，在其內(nèi)部具有多層結(jié)構(gòu)，所述多層結(jié)構(gòu)表現(xiàn)為激勵(lì)電極層，所述激勵(lì)電極與公共電極層和位于其之間的極化壓電陶瓷層交替設(shè)置，極化矢量相對(duì)于電極表面垂直延伸，所有激勵(lì)電極被分成兩個(gè)互不連接的組，這兩組電極相對(duì)于所述板的對(duì)稱面對(duì)稱放置，其中該對(duì)稱面相對(duì)于板的主表面和側(cè)表面垂直延伸，即通過(guò)這些表面的中心位置，每組激勵(lì)電極與公共電極以及位于其之間的壓電陶瓷層一起構(gòu)成了一個(gè)多層聲波發(fā)生器，所述發(fā)生器相對(duì)于壓電板的對(duì)稱面對(duì)稱設(shè)置。

2、如權(quán)利要求1的壓電執(zhí)行單元，其特征在于，公共電極由兩個(gè)部分組成，這兩個(gè)部分的設(shè)置和激勵(lì)電極的設(shè)置相同。

3、如權(quán)利要求1或2的壓電執(zhí)行單元，其特征在于，激勵(lì)電極和公共電極被設(shè)置成平行于壓電板的端面。

4、如權(quán)利要求1或2的壓電執(zhí)行單元，其特征在于，激勵(lì)電極和公共電極被設(shè)置成平行于壓電板的側(cè)表面。

5、如權(quán)利要求1或2的壓電執(zhí)行單元，其特征在于，激勵(lì)電極和公共電極被設(shè)置成平行于壓電板的主表面。

6、如前述任一權(quán)利要求的壓電執(zhí)行單元，其特征在于，在壓電板的至少一個(gè)側(cè)表面上安裝導(dǎo)電電極，所述導(dǎo)電電極將激勵(lì)電極和公共電極彼此連接。

7、如權(quán)利要求1到5之一的壓電執(zhí)行單元，其特征在于，在壓電板的至少一個(gè)主表面上安裝導(dǎo)電電極，所述導(dǎo)電電極將激勵(lì)電極和公共電極彼此連接。

8、如權(quán)利要求1到5之一的壓電執(zhí)行單元，其特征在于，在壓電板的各端面上安裝導(dǎo)電電極，所述導(dǎo)電電極將激勵(lì)電極和公共電極彼此連接。

9、如權(quán)利要求1到8之一的壓電執(zhí)行單元，其特征在于，在壓電板的至少一個(gè)側(cè)表面上設(shè)置摩擦元件。

10、如權(quán)利要求1到8之一的壓電執(zhí)行單元，其特征在于，在壓電板的至少一個(gè)側(cè)表面上設(shè)置摩擦層。

11、如前述任一權(quán)利要求的壓電執(zhí)行單元，其特征在于，一個(gè)控制單元具有單通道或雙通道自動(dòng)發(fā)生器。

12、如權(quán)利要求11的壓電執(zhí)行單元，其特征在于，所述控制單元包括單通道自動(dòng)發(fā)生器，所述單通道自動(dòng)發(fā)生器具有帶有變頻濾波器的功率放大器、與反饋元件和反向開(kāi)關(guān)相連接的反饋環(huán)，所述反向開(kāi)關(guān)交替地將功率放大器耦合到相應(yīng)的聲波發(fā)生器。

13、如權(quán)利要求11的壓電執(zhí)行單元，其特征在于，所述控制單元包括雙通道自動(dòng)發(fā)生器，所述雙通道自動(dòng)發(fā)生器具有兩個(gè)功率放大器、與反饋元件和反向開(kāi)關(guān)相連接的反饋環(huán)，所述反向開(kāi)關(guān)交替地將反饋環(huán)耦合到自動(dòng)發(fā)生器的相應(yīng)通道。

14、如權(quán)利要求12或13的壓電執(zhí)行單元，其特征在于，反饋元件由電阻器、電容器或者這兩個(gè)并聯(lián)連接的元件構(gòu)成，并且所述反饋元件連接到壓電執(zhí)行單元的公共電極組。

15、如權(quán)利要求12或13的壓電執(zhí)行單元，其特征在于，反饋元件包括串聯(lián)LC電路形式的變頻濾波器的電容，其連接到壓電執(zhí)行單元的公共電極組。

16、如權(quán)利要求15的壓電執(zhí)行單元，其特征在于，所述串聯(lián)LC電路的電容器的電容值等于一組激勵(lì)電極與一組公共電極之間的執(zhí)行單元的電容值。

17、如權(quán)利要求11到16之一的壓電執(zhí)行單元，其特征在于，控制單元還包括寬脈沖電壓控制器，其輸出端連接到所述單通道或雙通道自動(dòng)發(fā)生器的電壓源的輸入端，其控制輸入端構(gòu)成了用于控制執(zhí)行單元激勵(lì)電平的模擬輸入。

18、如權(quán)利要求17的壓電執(zhí)行單元，其特征在于，所述寬脈沖電壓控制器的同步輸入端直接連接或通過(guò)倍頻器連接到所述單通道或雙通道自動(dòng)發(fā)生器的信號(hào)電路。