[發明專利]化學－機械拋光固定環

無效

• 申請號: 200680026491.0
• 申請日: 2006-05-24
• 公開（公告）號: CN101331003A
• 公開（公告）日: 2008-12-24
• 發明（設計）人: 約翰·伯恩斯;馬克·V·史密斯;馬丁·L·福布斯;杰夫里·J·金;馬太·A·富勒
• 申請（專利權）人: 安格斯公司
• 主分類號: B24B29/00
• 分類號: B24B29/00
• 代理公司: 上海恩田旭誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 尹洪波

1.一種用于化學-機械拋光操作的固定環，其特征在于，它包括：

環形主干部，它具有一個或多個環形的在軸向凸出的主干部凸緣、和 形成在所述主干部凸緣之間的溝槽，所述主干部包括剛性聚合物材料；和

耐磨聚合物基部，它具有平的底表面、一個或多個環形的在軸向凸出 的基部凸緣、形成于所述基部凸緣之間的溝槽以及在所述固定環的內緣和 外緣之間延伸的所述底表面中的多個凹槽，所述凹槽適合促進在拋光操作 期間漿液的傳遞；

其中，所述主干部和所述基部是通過包覆成型工藝連接在一起的，從 而使得所述主干部凸緣與所述基部溝槽緊密配合，并且所述基部凸緣與所 述主干部溝槽緊密配合。

2.如權利要求1所述的固定環，其特征在于，所述多個凹槽各包含至少一個 擴張形開口。

3.如權利要求1所述的固定環，其特征在于，所述基部包覆所述主干部。

4.如權利要求1所述的固定環，其特征在于，所述基部包括聚醚醚酮，而且 所述主干部包括混合有陶瓷的聚醚醚酮。

5.如權利要求1所述的固定環，其特征在于，它還包括用于將所述固定環固 定到拋光單元的安裝夾具。

6.如權利要求1所述的固定環，其特征在于，相對于與所述外緣相切的線的 所述凹槽的角度至少為135度。

7.如權利要求1所述的固定環，其特征在于，所述凹槽界定了多個墊接觸區， 所述墊接觸區包含小于92％的所述底表面面積。

8.如權利要求1所述的固定環，其特征在于，所述主干部凸緣和所述基部凸 緣是交錯的，而且交錯部分的延伸距離至少為所述固定環軸向厚度的25％。

9.一種制造用于化學-機械拋光操作的固定環的方法，其特征在于，所述方法 包括：由耐磨聚合物模制基部，所述基部具有內緣、外緣、多個在軸向凸 出的環形凸緣、形成于所述凸緣之間的溝槽以及底表面；然后，用剛性聚 合物將主干部包覆成型在所述基部上，從而使所述主干部填入所述溝槽并 與所述基部連接。

10.如權利要求9所述方法，其特征在于，還包括形成多個延伸于所述內緣和 所述外緣之間的凹槽，所述凹槽界定所述底表面上的多個墊接觸區。

11.如權利要求10所述的方法，其特征在于，所述凹槽的形成還包括：形成 相對于與所述外緣相切的線的角度至少為135度的所述凹槽。

12.如權利要求10所述的方法，其特征在于，所述墊接觸區包含小于92％的 所述底表面面積。

13.如權利要求10所述的方法，其特征在于，還包括在所述多個凹槽上各形 成至少一個擴張形開口。

14.如權利要求9所述的方法，其特征在于，所述基部包括聚醚醚酮，且所述 主干部包括混有陶瓷的聚醚醚酮。

15.一種制造用于化學-機械拋光操作的固定環的方法，所述方法包括：由剛 性聚合物模制主干部，所述主干部包括多個軸向凸出的環形凸緣和形成在 所述凸緣之間的溝槽；然后用耐磨聚合物將基部包覆成型在所述主干部 上，從而使所述基部填入所述溝槽，并與所述主干部連接，所述基部具有 內緣、外緣和底表面。

16.如權利要求15所述的方法，其特征在于，還包括形成多個延伸于所述內 緣和所述外緣之間的凹槽，所述凹槽界定所述底表面上的多個墊接觸面。

17.如權利要求16所述的方法，其特征在于，所述凹槽的形成還包括：形成 相對于與所述外緣相切的線的角度至少為135度的所述凹槽。

18.如權利要求16所述的方法，其特征在于，所述墊接觸區包含小于92％的 所述底表面面積。

19.如權利要求16所述的方法，其特征在于，所述凹槽的形成還包括：在所 述凹槽中形成至少一個擴張形開口。

20.如權利要求15所述的方法，其特征在于，所述基部包括聚醚醚酮，且所 述主干部包括混有陶瓷的聚醚醚酮。