[發明專利]箔片型壓力傳感器

有效

• 申請號: 200680025459.0
• 申請日: 2006-07-11
• 公開（公告）號: CN101223427A
• 公開（公告）日: 2008-07-16
• 發明（設計）人: J－L·凱澤
• 申請（專利權）人: IEE國際電子工程股份公司
• 主分類號: G01L1/24
• 分類號: G01L1/24
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 蔡勝利

1.一種箔片型壓力傳感器，包括：

第一箔片和第二箔片；

間隔部，在所述第一和第二箔片之間，所述間隔部具有限定感測區域的開口，在所述感測區域中所述第一和第二箔片可以通過作用在所述壓力傳感器上的壓力克服箔片的彈性被使得一片向另一片接近；

其特征在于，

發光裝置，被布置在所述箔片之間，用于將光輸入到所述感測區域內；和

集光裝置，被布置在所述箔片之間，用于收集從所述發光裝置通過所述感測區域傳播到所述集光裝置的光；

其中當所述第一和第二箔片被使得一片向另一片接近時，所述第一和第二箔片中的至少一片至少部分地阻擋通過所述感測區域的光傳播。

2.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其中所述發光裝置包括被光學連接到光源的輸入光波導的端表面。

3.根據權利要求2所述的壓力傳感器，包括實質上平行于所述輸入波導定位的連續參考波導。

4.根據權利要求1至3中的任何一項所述的壓力傳感器，其中所述集光裝置包括被光學連接到光探測器的輸出光波導的端表面。

5.根據權利要求4所述的壓力傳感器，包括實質上平行于所述輸出波導定位的連續參考波導。

6.根據權利要求1至5中的任何一項所述的壓力傳感器，其中所述發光裝置和所述集光裝置在所述感測區域中彼此面對。

7.根據權利要求1至6中的任何一項所述的壓力傳感器，其中所述第一和/或第二箔片具有對于通過所述感測區域傳播的光的高吸收系數。

8.根據權利要求1至7中的任何一項所述的壓力傳感器，其中所述第一和/或第二箔片涂敷有對于通過所述感測區域傳播的光具有高吸收系數的層。

9.根據權利要求1至8中的任何一項所述的壓力傳感器，其中所述發光裝置和/或所述集光裝置包括適合于在所述發光裝置和所述集光裝置之間最佳耦合效率的光學元件。

10.根據權利要求7的壓力傳感器，其中所述光學元件包括與所述發光裝置相關聯的透鏡。