[發明專利]遠心軸上暗場照明所實施的光學系統的優化使用及性能

有效

• 申請號: 200680024877.8
• 申請日: 2006-07-07
• 公開（公告）號: CN101218500A
• 公開（公告）日: 2008-07-09
• 發明（設計）人: 里歐·鮑德溫;約瑟·J.·伊莫瑞
• 申請（專利權）人: 伊雷克托科學工業股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司
• 代理人: 許靜

1.一種成像系統，用于使平面鏡狀物體上的缺陷成像，該種成像系統包括：

遠心透鏡，其具有充分非球面表面，使該遠心透鏡充分地修正光學像差；

遠心光圈，其包括孔徑，以阻斷自該平面鏡狀物體所反射的光線而允許自該缺陷所反射的光線通過該孔徑；及

透鏡群組，其具有定位于該遠心光圈與該透鏡群組之間的系統光圈，該透鏡群組無關于遠心透鏡而充分地修正光學像差。

2.根據權利要求1所述的成像系統，進一步包括：相機，用于透過該遠心透鏡、遠心光圈、與透鏡群組以使該平面鏡狀物體成像。

3.根據權利要求2所述的成像系統，其中，該相機包括互補金屬氧化物半導體傳感器。

4.根據權利要求3所述的成像系統，其中，該成像系統具有約±10毫米的焦點深度。

5.根據權利要求1所述的成像系統，其中，該缺陷是軟標記。

6.根據權利要求1所述的成像系統，其中，該遠心透鏡包括模制聚合物。

7.根據權利要求1所述的成像系統，其中，該光學像差包括球面像差。

8.根據權利要求1所述的成像系統，其中，該透鏡群組包括針孔透鏡。

9.根據權利要求1所述的成像系統，進一步包括：照明源，其定位為沿著該遠心透鏡的軸以照明該平面鏡狀物體。

10.根據權利要求9所述的成像系統，其中，該照明源包括二個或多個同心數組的發光二極管。

11.根據權利要求10所述的成像系統，其中，在該二個或多個同心數組的LED的連續同心數組在關于共同中心點的切向配置與徑向配置之間交替。

12.一種遠心軸上暗場(TOAD)照明裝置，包含：

第一圓形數組的照明源，其關于中心點徑向配置，第一圓形數組位于自該中心點的第一半徑；及

第二圓形數組的照明源，其關于該中心點切向配置，第二圓形數組位于自該中心點的第二半徑。

13.根據權利要求12所述的TOAD照明裝置，進一步包括：第三圓形數組的照明源，其關于該中心點徑向配置，第三圓形數組位于自該中心點的第三半徑。

14.根據權利要求13所述的TOAD照明裝置，進一步包括：第四圓形數組的照明源，其關于該中心點切向配置，第四圓形數組位于自該中心點的第四半徑。

15.根據權利要求14所述的TOAD照明裝置，其中，第二半徑大于第一半徑。

16.根據權利要求15所述的TOAD照明裝置，其中，第三半徑大于第二半徑。

17.根據權利要求16所述的TOAD照明裝置，其中，第四半徑大于第三半徑。

18.一種用于對準遠心軸上暗場(TOAD)照明裝置與實質鏡狀表面的方法，TOAD照明裝置具有多個同心照明數組，該方法包括：

在第一方向，調整在該TOAD照明裝置與物體平面之間的入射角度，直到將強亮度區域從該鏡狀表面的影像的第一側實質地移除；

記錄該調整的入射角度作為第一測量；

在相比較于第一方向的相反方向，調整在該TOAD照明裝置與物體平面之間的入射角度，直到強亮度區域從該鏡狀表面的影像的第二側實質地移除；

記錄該重新調整的入射角度作為第二測量；及.

確定針對第一方向的對準的入射角度作為在第一測量與第二測量之間的近似差。

19.根據權利要求18所述的方法，其中，調整在該TOAD照明裝置與物體平面之間的入射角度包括：

選擇最內的同心照明數組；及

調整在該最內的同心照明數組與TOAD照明裝置之間的入射角度。