[發(fā)明專(zhuān)利]繪制表面輪廓

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200680023184.7
• 申請(qǐng)日: 2006-06-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101208580A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: W·波澤;W·D·范阿姆斯特
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 皇家飛利浦電子股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01B11/24
• 分類(lèi)號(hào): G01B11/24;G01N21/95;G06T7/00;G01B11/30
• 代理公司: 永新專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 王英

1.一種用于繪制物體(2)的表面(1)的表面形貌g(x→)=0]]>的設(shè)備，包括：

a)傳感器(3)，其用于測(cè)量所述表面上的預(yù)定測(cè)量位置(4)處的表面形貌的梯度

b)計(jì)算實(shí)體(5)，其用于處理來(lái)自多個(gè)測(cè)量位置的表面形貌的梯度的測(cè)量值

c)所述計(jì)算實(shí)體適于針對(duì)所述表面的至少一部分計(jì)算所述測(cè)量值的旋度以確定所述測(cè)量值表現(xiàn)出了測(cè)量誤差的表面位置(誤差位置)，所述誤差位置的特征在于具有與零之間的偏差超過(guò)閾值的值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備還包括用于使所述測(cè)量值的旋度可視化的顯示器(7)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述計(jì)算實(shí)體適于執(zhí)行自校準(zhǔn)，在自校準(zhǔn)期間，對(duì)設(shè)備參數(shù)進(jìn)行修改，從而使所述測(cè)量值的平均平方旋度最小化。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述計(jì)算實(shí)體適于確定的值與相鄰表面位置的值的偏差超過(guò)閾值的那些表面位置，由此識(shí)別出具有隨機(jī)缺陷的表面位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述計(jì)算實(shí)體適于執(zhí)行多個(gè)物體(2)的值的比較。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其特征在于，所述比較包括搜索對(duì)于所述多個(gè)物體中的所有物體而言共同的誤差位置。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其特征在于所述比較包括：

a)搜索對(duì)于所述多個(gè)物體中的所有物體共同的誤差位置，

b)確定在步驟a)中確定的誤差位置處的的幅度是否與制造和/或測(cè)量物體的時(shí)間相關(guān)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述計(jì)算實(shí)體適于針對(duì)系統(tǒng)誤差校正顯示出了測(cè)量誤差的測(cè)量值，其中，為了校正測(cè)量值，使函數(shù)G(α1,α2,..αn)=1A∫A(▿→×S→(x→)·▿→×S→(x→))dA]]>

最小化，其中，所述多個(gè)測(cè)量位置構(gòu)成了物體的表面A，并且由參數(shù)α₁，α₂...α_n表示系統(tǒng)誤差。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述計(jì)算實(shí)體為計(jì)算機(jī)和/或計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品。