[發(fā)明專利]制造樹(shù)脂的微型機(jī)器部件的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200680022865.1
• 申請(qǐng)日: 2006-06-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101208260A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 本田那央;森哲;田中秀治;江刺正喜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 國(guó)立大學(xué)法人東北大學(xué);日本化藥株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B81C1/00
• 分類號(hào): B81C1/00;F04D29/22;B29C67/00
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司
• 代理人: 沙永生

1.一種制造樹(shù)脂構(gòu)成的微型機(jī)器部件的方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

(a)在基片上形成一層犧牲層；

(b)在所述犧牲層上順序形成至少兩層光敏樹(shù)脂組合物層，并對(duì)形成的各光敏樹(shù)脂組合物層進(jìn)行相應(yīng)于預(yù)定微型機(jī)器部件的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的光刻，形成限定微型機(jī)器部件的周邊部分的氣隙部分和構(gòu)成微型機(jī)器部件的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的氣隙部分，因而形成固化的光敏樹(shù)脂組合物層的多層結(jié)構(gòu)；

(c)在固化的光敏樹(shù)脂組合物層的多層結(jié)構(gòu)上層疊干膜抗蝕劑，對(duì)所述干膜抗蝕劑層進(jìn)行相應(yīng)于遮蔽層結(jié)構(gòu)的光刻，形成固化的干膜抗蝕劑層，其中，形成限定遮蔽層的周邊部分的氣隙部分和構(gòu)成遮蔽層結(jié)構(gòu)的氣隙部分；和

(d)通過(guò)去除所述犧牲層將所述微型機(jī)器部件與所述基片分離，所述微型機(jī)器部件具有固化光敏樹(shù)脂組合物層和固化的干膜抗蝕劑層的多層結(jié)構(gòu)，并由限定周邊部分的多層體組成。

2.如權(quán)利要求1所述的制造樹(shù)脂構(gòu)成的微型機(jī)器部件的方法，其特征在于，用于除遮蔽層外的各層的光敏樹(shù)脂組合物是液體光敏樹(shù)脂組合物。

3.如權(quán)利要求1所述的制造樹(shù)脂構(gòu)成的微型機(jī)器部件的方法，其特征在于，用于除遮蔽層外的各層的光敏樹(shù)脂組合物是干膜抗蝕劑。

4.如權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的制造樹(shù)脂構(gòu)成的微型機(jī)器部件的方法，其特征在于，各層的光敏樹(shù)脂組合物是可光固化的樹(shù)脂組合物。

5.如權(quán)利要求4所述的制造樹(shù)脂構(gòu)成的微型機(jī)器部件的方法，其特征在于，可光固化的樹(shù)脂組合物的交聯(lián)組分是環(huán)氧樹(shù)脂、氨基化合物、丙烯酸類樹(shù)脂或者聚酰亞胺前體。

6.如權(quán)利要求5所述的制造樹(shù)脂構(gòu)成的微型機(jī)器部件的方法，其特征在于，各層的光敏樹(shù)脂組合物是包含環(huán)氧樹(shù)脂和光陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑的光敏樹(shù)脂組合物。

7.如權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的制造樹(shù)脂構(gòu)成的微型機(jī)器部件的方法，其特征在于，犧牲層是堿溶性樹(shù)脂組合物，使用堿水溶液去除犧牲層，以將微型機(jī)器部件與基片分離。

8.如權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的制造樹(shù)脂構(gòu)成的微型機(jī)器部件的方法，其特征在于，在固化的干膜抗蝕劑層上還形成結(jié)構(gòu)體。

9.如權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的制造樹(shù)脂構(gòu)成的微型機(jī)器部件的方法，其特征在于，微型機(jī)器部件由兩層的固化光敏樹(shù)脂組合物層和一層固化的干膜抗蝕劑層的多層結(jié)構(gòu)組成。

10.如權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的制造樹(shù)脂構(gòu)成的微型機(jī)器部件的方法，其特征在于，微型機(jī)器部件是微型葉輪。

11.如權(quán)利要求1-10中任一項(xiàng)所述的制造樹(shù)脂構(gòu)成的微型機(jī)器部件的方法，其特征在于，在形成為可活動(dòng)部件的微型機(jī)器部件的同時(shí)，為固定部件的微型機(jī)器部件在限定為可活動(dòng)部件的微型機(jī)器部件的周邊部分的氣隙部分外面形成，因而形成具有芯體結(jié)構(gòu)的微型機(jī)器部件，其中為可活動(dòng)部件的微型機(jī)器部件容納在為固定部件的微型機(jī)器部件內(nèi)。

12.如權(quán)利要求11所述的制造樹(shù)脂構(gòu)成的微型機(jī)器部件的方法，其特征在于，可活動(dòng)部件是微型葉輪，固定部件是定子。