[發(fā)明專利]圖像處理裝置、圖像描繪裝置及系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200680021719.7
• 申請日: 2006-06-12
• 公開（公告）號: CN101198908A
• 公開（公告）日: 2008-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 尾崎幸久;豐福貴司
• 申請（專利權(quán)）人: 富士膠片株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/027;H05K3/00
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 朱丹

1.一種圖像處理裝置，與直接在基板上描繪以描繪用柵格數(shù)據(jù)表示的線圖案的描繪裝置連接、進(jìn)行將表示所輸入的所述布線圖案的向量形式的圖像數(shù)據(jù)向所述描繪用柵格數(shù)據(jù)展開的RIP處理，其特征在于：

所述圖像處理裝置具備檢查單元，該檢查單元在對所輸入的所述圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行所述RIP處理之前，針對所述圖像數(shù)據(jù)，檢查是否存在經(jīng)過利用所述描繪裝置進(jìn)行的描繪工序后制造的基板中會產(chǎn)生不良的缺陷。

2.如權(quán)利要求1所述的圖像處理裝置，其特征在于：所述檢查單元，在檢查所述圖像數(shù)據(jù)中是否存在缺陷時，取得所述描繪裝置在所述基板上描繪所述布線圖案之際采用的描繪條件，按照取得的描繪條件，設(shè)定用于判定所述檢查中的所述缺陷的的閾值，使用所設(shè)定的閾值進(jìn)行所述檢查。

3.如權(quán)利要求2所述的圖像處理裝置，其特征在于：所述描繪條件，是描繪所述布線圖案之際采用的分辨率或在所述基板上設(shè)置的感光材料的種類。

4.如權(quán)利要求2所述的圖像處理裝置，其特征在于：所述檢查單元，作為檢查是否在所述制造的基板中會產(chǎn)生不良的缺陷的處理，進(jìn)行至少檢查下述項目中的一個的處理：

在所述圖像數(shù)據(jù)表示的布線圖案中，是否包含圓周長小于第1閾值的圓弧部；

在所述布線圖案中，是否包含始點位置的半徑與終點位置的半徑之差為第2閾值以上的圓弧部；

在所述布線圖案中，是否包含半徑為第3閾值以上的圓弧部；

所述布線圖案是否存在自原點的距離為第4閾值以上的坐標(biāo)；

在所述圖像數(shù)據(jù)表示的布線圖案中，是否存在面積小于第5閾值的針孔區(qū)域；

在所述布線圖案中，是否存在與鄰接的圖案互相重疊的區(qū)域的寬度小于第6閾值的圖案；以及

在所述布線圖案中，是否存在與互相鄰接的圖案的間隙小于第7閾值的圖案。

5.如權(quán)利要求3所述的圖像處理裝置，其特征在于：所述檢查單元，作為檢查是否在所述制造的基板中會產(chǎn)生不良的缺陷的處理，進(jìn)行至少檢查下述項目中的一個的處理：

在所述圖像數(shù)據(jù)表示的布線圖案中，是否包含圓周長小于第1閾值的圓弧部；

在所述布線圖案中，是否包含始點位置的半徑與終點位置的半徑之差為第2閾值以上的圓弧部；

在所述布線圖案中，是否包含半徑為第3閾值以上的圓弧部；

所述布線圖案是否存在自原點的距離為第4閾值以上的坐標(biāo)；

在所述圖像數(shù)據(jù)表示的布線圖案中，是否存在面積小于第5閾值的針孔區(qū)域；

在所述布線圖案中，是否存在與鄰接的圖案互相重疊的區(qū)域的寬度小于第6閾值的圖案；以及

在所述布線圖案中，是否存在與互相鄰接的圖案的間隙小于第7閾值的圖案。

6.如權(quán)利要求1所述的圖像處理裝置，其特征在于：所述檢查單元，至少進(jìn)行檢查下述項目中的一個的處理：

所述布線圖案中是否包含使用圓以外的孔眼形狀的線；

在所述布線圖案中，是否包含構(gòu)成始點位置和終點位置相同的封閉曲線而且在從始點位置到終點位置的途中與本線交叉的自我交叉線。

7.如權(quán)利要求1所述的圖像處理裝置，其特征在于：所述檢查單元，還檢查所述圖像數(shù)據(jù)中是否存在因所述RIP處理而會發(fā)生出錯的缺陷。

8.如權(quán)利要求7所述的圖像處理裝置，其特征在于：所述檢查單元，作為檢查所述圖像數(shù)據(jù)中是否存在因所述RIP處理而會發(fā)生出錯的缺陷的處理，至少進(jìn)行檢查下述項目中的一個的處理：

所述圖像數(shù)據(jù)中是否包含了所述RIP處理中可能處理的文字種類以外的文字；

所述布線圖案的頂點的數(shù)量是否是第8閾值以上；以及

構(gòu)成所述圖像數(shù)據(jù)的層數(shù)是否是第9閾值以上。

9.如權(quán)利要求1所述的圖像處理裝置，其特征在于：還具備數(shù)據(jù)生成單元，該數(shù)據(jù)生成單元在所述檢查單元得出所述圖像數(shù)據(jù)有缺陷的判斷時，取得判斷有所述缺陷的部位的所述布線圖案上的坐標(biāo)，根據(jù)取得的坐標(biāo)，生成缺陷部位明示數(shù)據(jù)，該缺陷部位明示數(shù)據(jù)以能與所述圖像數(shù)據(jù)表示的布線圖案重疊顯示的狀態(tài)，在所述布線圖案上的所述部位明示規(guī)定的標(biāo)記。